[发明专利]一种仿生柔性压力传感器在审
| 申请号： | 201910294235.9 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN110174195A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 李衎;章立诚;朱宁宁;刘逸博 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L1/22 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 郑红莉 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 柔性压力传感器 仿生结构 平面结构 柔性基底 相对布置 外凸起 相对面 花瓣 表面设置绝缘层 高灵敏度 金属薄膜 导电层 简易 覆盖 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种仿生柔性压力传感器，其特征在于，所述仿生柔性压力传感器包括相对布置的两电极，所述两电极均包括柔性基底和覆盖在柔性基底上的金属薄膜导电层，所述两电极的两个相对面中的任一表面向外凸起形成花瓣仿生结构，另一表面为平面结构。
2.根据权利要求1所述的仿生柔性压力传感器，其特征在于，所述仿生柔性压力传感器包括相对布置的两电极，所述两电极的两个相对面中任一表面向外凸起形成花瓣仿生结构，另一个表面为平面结构，并在另一个表面设置绝缘层。
3.根据权利要求1或2所述的仿生柔性压力传感器，其特征在于，所述花瓣仿生结构的底面直径为10-40微米，高度为10-30微米。
4.根据权利要求1或2所述的仿生柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性基底的材料为可拉伸聚合物材料。
5.根据权利要求1或2所述的仿生柔性压力传感器，其特征在于，所述金属薄膜导电层的材料选自金、银或铜中的一种。
6.根据权利要求5所述的仿生柔性压力传感器，其特征在于，所述金属薄膜导电层的厚度为50-200nm。
7.根据权利要求1或2所述的仿生柔性压力传感器，其特征在于，所述绝缘层的材料为绝缘聚合物材料，厚度为1-10μm。
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