[发明专利]流量控制阀及反应腔室压力控制装置

权利要求书

1.一种流量控制阀，其特征在于，包括依次连接的进气接头、阀座和出气接头，还包括以并联方式连接于所述阀座的调节阀部件和截止阀部件，所述调节阀部件和所述截止阀部件分别用于调节通过所述阀座的气体流量；

所述阀座内设有并联的第一流道和第二流道，所述第一流道和所述第二流道均与所述进气接头和所述出气接头连通，所述调节阀部件用于无级调节所述第一流道的流道截面积，所述截止阀部件用于导通或切断所述第二流道。

2.根据权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于，所述截止阀部件包括感应线圈、衔铁、弹性连接件和密封件；所述衔铁通过所述弹性连接件连接于所述阀座，所述感应线圈套设于所述衔铁外部，所述密封件设于所述衔铁靠近所述阀座的一端，所述衔铁能够在所述感应线圈和所述弹性连接件的作用下沿所述感应线圈的轴向运动，以带动所述密封件切断或导通所述第二流道。

3.根据权利要求2所述的流量控制阀，其特征在于，所述截止阀部件还包括固定连接于所述阀座的阀体和固定座；所述阀体为管状，所述衔铁和所述感应线圈分别设于所述阀体内部和外部；所述固定座为环状，套设于所述阀体外部，所述感应线圈连接于所述固定座。

4.根据权利要求2所述的流量控制阀，其特征在于，所述进气接头、所述阀座、所述出气接头、所述密封件与流体接触的表面设有聚四氟乙烯、ZrO₂或SiO₂涂层。

5.根据权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于，所述调节阀部件包括驱动模块、阀杆和与所述阀杆连接的阀片，所述驱动模块通过控制所述阀杆的旋转角度控制所述阀片的开度，以调节所述第一流道的流道截面积。

6.根据权利要求5所述的流量控制阀，其特征在于，所述驱动模块包括电机、减速器和联轴器，所述阀杆依次通过所述联轴器和所述减速器连接于所述电机的输出轴。

7.根据权利要求5所述的流量控制阀，其特征在于，所述调节阀部件还包括锁紧螺母，所述锁紧螺母固定连接于所述阀座，所述阀杆穿过所述锁紧螺母。

8.根据权利要求5所述的流量控制阀，其特征在于，所述阀杆、所述阀片与流体接触的表面设有聚四氟乙烯、ZrO₂或SiO₂涂层。

9.一种反应腔室压力控制装置，其特征在于，包括根据权利要求1-8中任一项所述的流量控制阀，所述流量控制阀连接于所述反应腔室，通过流量调节控制所述反应腔室的压力。

10.根据权利要求9所述的反应腔室压力控制装置，其特征在于，还包括：

压力检测单元，用于检测所述反应腔室的压力P；

控制单元，根据所述压力P、反应腔室预设压力P₀、反应腔室进气流量F控制所述调节阀部件和所述截止阀部件调节气体流量。

11.根据权利要求10所述的反应腔室压力控制装置，其特征在于，所述阀座内设有并联的第一流道和第二流道，所述第一流道和所述第二流道均与所述进气接头和所述出气接头连通，所述调节阀部件用于无级调节所述第一流道的流道截面积，所述截止阀部件用于导通或切断所述第二流道；

所述根据所述压力P、反应腔室预设压力P₀、反应腔室进气流量F控制所述调节阀部件和所述截止阀部件调节气体流量包括：

当P≠P₀且F小于流量阈值时，控制所述截止阀部件切断所述第二流道，控制所述调节阀部件调节通过所述第一流道的气体流量直到P＝P₀；

当P≠P₀且F大于或等于所述流量阈值时，控制所述截止阀部件导通所述第二流道，控制所述调节阀部件调节通过所述第一流道的气体流量，直到P＝P₀时，控制所述截止阀部件切断所述第二流道，控制所述调节阀部件调节通过所述第一流道的气体流量直到所述压力P再次等于所述预设压力P₀。