[发明专利]圆柱形靶材增大溅射面积加工方法在审
| 申请号： | 201910294904.2 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN109894629A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张益 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | B23B1/00 | 分类号： | B23B1/00;B23B25/00 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 溅射 圆柱形靶材 车刀 加工面 刻度盘 小拖板 加工 机床 锥面 靶材加工 待加工面 方向移动 一端设置 用户使用 刀架 固定靶 | ||
【权利要求书】：
1.圆柱形靶材增大溅射面积加工方法，其特征在于：包括以下步骤，
S1，提供靶材，所述靶材一端设置有待加工面；
S2，固定靶材，将靶材固定在机床一侧；
S3，根据提供的刻度，调整机床上的刻度盘；
S4，推动刻度盘上的小拖板，使小拖板上的设置有车刀的刀架往靶材的待加工面方向移动；
S5，车刀开始对待加工面车锥面。
2.根据权利要求1所述的圆柱形靶材增大溅射面积加工方法，其特征在于：所述车刀设置的前角度大于20°。
3.根据权利要求1所述的圆柱形靶材增大溅射面积加工方法，其特征在于：所述靶材设置为金属靶材或合金靶材中的一种。
4.根据权利要求1所述的圆柱形靶材增大溅射面积加工方法，其特征在于：所述靶材的形状为圆柱形。
5.根据权利要求1所述的圆柱形靶材增大溅射面积加工方法，其特征在于：所述锥面与靶材水平面形成的角度大于15°。
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