[发明专利]一种耐高温的CO2

权利要求书

1.一种耐高温的CO₂激光增透膜，其特征在于：包括基底层，基底层上依次沉积有第一氟化钇层、氟化镱钙层、硒化锌层和第二氟化钇层，其中，第一氟化钇层、氟化镱钙层、硒化锌层和第二氟化钇层的覆盖面积均为基底层表面面积的95％以上。

2.根据权利要求1所述的耐高温的CO₂激光增透膜，其特征在于：氟化镱钙层的物理厚度大于硒化锌层的物理厚度。

3.根据权利要求2所述的耐高温的CO₂激光增透膜，其特征在于：第一氟化钇层的物理厚度和第二氟化钇层的物理厚度均小于硒化锌层的物理厚度。

4.根据权利要求3所述的耐高温的CO₂激光增透膜，其特征在于：氟化镱钙层的物理厚度为第一氟化钇层物理厚度的8-9.5倍，硒化锌层的物理厚度为第一氟化钇层物理厚度的2-3倍，第二氟化钇层的物理厚度为第一氟化钇层物理厚度的0.95-1.05倍。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的耐高温的CO₂激光增透膜，其特征在于：第一氟化钇层的物理厚度为95-100纳米；氟化镱钙层的物理厚度为860-870纳米；硒化锌层的物理厚度为240-250纳米；第二氟化钇层的物理厚度为95-100纳米。

6.根据权利要求1-4任意一项所述的耐高温的CO₂激光增透膜，其特征在于：基底层为厚度为3±0.1mm的硒化锌基底层；耐高温的CO₂激光增透膜在远红外10.6um波段的透过率达到99.5％，耐温性大于300℃。

7.权利要求1-6任意一项所述的耐高温的CO₂激光增透膜的制备方法，其特征在于：以真空蒸发的方式在基底层上依次沉积第一氟化钇层、氟化镱钙层、硒化锌层和第二氟化钇层。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于：包括顺序相接的如下步骤：

1)对氟化钇、氟化镱钙和硒化锌膜料进行单独预熔处理，去除膜料内部的杂质；

2)将基底层清洁后，置于真空室内，在真空室内压强为(1.8±0.2)×10^-3Pa、烘烤温度为100±5℃的条件下，在基底层的表面依次沉积第一氟化钇层、氟化镱钙层、硒化锌层和第二氟化钇层。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于：步骤2)中，第一氟化钇层、氟化镱钙层以及第二氟化钇层蒸发过程中需要离子辅助沉积。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于：步骤2)中，沉积第一氟化钇层时，氟化钇的蒸发速率为0.28±0.02nm/S，离子源束流为20A；

沉积氟化镱钙层时，氟化镱钙的蒸发速率为0.28±0.02nm/S，离子源束流为20A，本层只在前100nm使用离子源；

沉积硒化锌层时，硒化锌蒸发速率为0.17±0.02nm/S，不使用离子源；

沉积第二氟化钇层时，氟化钇的蒸发速率为0.28±0.02nm/S，离子源束流为20A。