[发明专利]一种显示面板、显示装置及显示面板的制作方法有效
申请号: | 201910298189.X | 申请日: | 2019-04-15 |
公开(公告)号: | CN110085552B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 何水;莫英华 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/82 | 分类号: | H01L21/82;H01L27/32 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 361101 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 显示装置 制作方法 | ||
1.一种显示面板的制作方法,其特征在于,所述显示面板包括弯折区域和非弯折区域;所述方法包括:
在柔性基板上依次层叠设置第一无机层、第一金属层和第二无机层;
对所述弯折区域中的第一无机层、第一金属层以及第二无机层进行刻蚀,使得所述显示面板在所述弯折区域形成凹槽;其中,所述凹槽的槽底设置有多个沿第一方向延伸且沿第二方向排列的阻隔件,所述第一方向为所述显示面板可弯折的方向,所述第二方向垂直于所述第一方向,所述阻隔件的材质为绝缘材质;
在所述非弯折区域中的第二无机层上设置第二金属层,并将所述第二金属层的走线延伸至所述弯折区域中;其中,所述走线沿着所述凹槽的槽壁和槽底贯穿所述凹槽,并且任意两个相邻的所述走线之间被所述阻隔件间隔开;
其中,所述弯折区域设置在所述显示面板的显示区。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在对所述弯折区域中的第一无机层、第一金属层以及第二无机层进行刻蚀之前,所述方法还包括:
在所述非弯折区域中的第二无机层上设置光阻;
在对所述弯折区域中的第一无机层、第一金属层以及第二无机层进行刻蚀之后、在所述非弯折区域中的第二无机层上设置第二金属层之前,所述方法还包括:
除去所述非弯折区域中的第二无机层上的所述光阻。
3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述在柔性基板上依次层叠设置第一无机层、第一金属层和第二无机层,包括:
在所述弯折区域中的第一无机层上设置多条金属线,形成所述第一金属层在所述弯折区域中的部分;其中,所述金属线的形状为沿着所述第一方向延伸的条状;或者,所述金属线的形状为沿着所述第一方向延伸,且在两端沿着所述第二方向延伸的“工”字状;
所述对所述弯折区域中的第一无机层、第一金属层以及第二无机层进行刻蚀,使得所述显示面板在所述弯折区域形成凹槽,包括:
对所述弯折区域进行第一次刻蚀,去掉所述第二无机层在所述弯折区域中的部分和所述第一无机层在所述弯折区域中未被所述第一金属层覆盖的部分,使得所述显示面板在所述弯折区域形成凹槽;
对所述弯折区域进行第二次刻蚀,去掉所述第一金属层在所述弯折区域中的部分,将留下的沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向排布的第一无机层部分作为阻隔件。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述对所述弯折区域进行第一次刻蚀,包括:
采用SF6气体或CF4气体对所述弯折区域进行第一次刻蚀;
所述对所述弯折区域进行第二次刻蚀,包括:
采用Cl2气体对所述弯折区域进行第二次刻蚀。
5.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述对所述弯折区域中的第一无机层、第一金属层以及第二无机层进行刻蚀,使得所述显示面板在所述弯折区域形成凹槽,包括:
对所述弯折区域中的第一无机层、第一金属层以及第二无机层进行刻蚀,去掉所述第一无机层、所述第一金属层以及所述第二无机层在所述弯折区域中的部分,形成凹槽;
在所述凹槽的槽底设置多个沿第一方向延伸且沿第二方向排布的阻隔件。
6.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述阻隔件间隔均匀地分布在所述弯折区域中;
所述在所述非弯折区域中的第二无机层上设置第二金属层,并将所述第二金属层的走线延伸至所述弯折区域中,包括:
在所述非弯折区域中的第二无机层上将所述第二金属层的走线进行弯折走线设置,以使所述第二金属层的走线在延伸至所述弯折区域中时,间隔均匀地分布在所述弯折区域中。
7.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,在将所述第二金属层的走线延伸至所述弯折区域中之后,所述方法还包括:
在所述弯折区域中的凹槽中填充平坦层,以使所述平坦层的表面和所述非弯折区域的第二金属层的表面齐平。
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