[发明专利]显示装置制造设备

权利要求书

1.一种显示装置制造设备，其中，所述显示装置制造设备包括：

室；

支架，所述支架布置在所述室中并且支撑基底；

电极，所述电极布置在所述室中以面对所述支架；

气体供应部，所述气体供应部被配置为将用于工艺的气体供应到所述室中；

第一挡板，所述第一挡板布置在所述支架的边缘处并且具有至少一个第一通孔；以及

第二挡板，所述第二挡板布置在所述第一挡板和所述室之间，并且在平面图中覆盖所述至少一个第一通孔以改变从所述室排放的工艺副产物的路径。

2.根据权利要求1所述的显示装置制造设备，其中，所述第一通孔的至少一个内表面相对于所述第一挡板的上表面和下表面中的一个倾斜。

3.根据权利要求1所述的显示装置制造设备，其中，所述第一通孔的至少一个内表面的至少一部分突出到所述第一通孔中。

4.根据权利要求1所述的显示装置制造设备，其中，所述显示装置制造设备还包括：

气体排放器，所述气体排放器连接到所述室并且被配置为排放所述气体。

5.根据权利要求4所述的显示装置制造设备，其中，所述气体排放器包括：

导管，所述导管连接到所述室并且被配置为将所述气体引导到所述室的外部；和

泵，所述泵连接到所述导管并且被配置为将所述气体排放到所述外部。

6.根据权利要求5所述的显示装置制造设备，其中，所述第二挡板被布置为在平面图中与所述导管的孔完全重叠。

7.根据权利要求1所述的显示装置制造设备，其中，所述显示装置制造设备还包括：

阻挡片，所述阻挡片被配置为从所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一个的一个表面突出。

8.根据权利要求7所述的显示装置制造设备，其中，所述阻挡片相对于所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一个的所述一个表面倾斜。

9.根据权利要求1所述的显示装置制造设备，其中，所述显示装置制造设备还包括：

挡板支架，所述挡板支架连接到所述室并且连接到所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一个。

10.根据权利要求9所述的显示装置制造设备，其中，所述挡板支架是板的形式并且具有一个或多个第二通孔。