[发明专利]多共面栅阳极像素阵列式能谱探测器在审
| 申请号： | 201910300507.1 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN109946736A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 曾弘宇;刘涵;周春颖;王韫睿;谌放;姚童;张凤年 | 申请（专利权）人： | 曾弘宇 |
| 主分类号： | G01T1/36 | 分类号： | G01T1/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400065 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 收集电极 栅极单元 共面栅阳极 能谱探测器 碲锌镉晶体 读出电路 像素阵列 权重 阵列方式排列 电子载流子 阵列式排布 方法设置 连接信号 收集性能 校正过程 校正信息 沉淀的 列方向 | ||
【权利要求书】：
1.多共面栅阳极像素阵列式能谱探测器，包括碲锌镉晶体(1)，其特征在于，所述碲锌镉晶体(1)上通过沉淀的方法设置有多个小共面栅极单元(4)，多个所述小共面栅极单元(4)在一个平面上以行和列方向按阵列方式排列，所述小共面栅极单元(4)由收集电极(2)、未收集电极(3)以及后端读出电路组成，所述收集电极(2)与未收集电极(3)按面积占比1:1的比例交叉的形式制成，所述收集电极(2)用于收集电子载流子，所述未收集电极(3)用于权重势设定，所述小共面栅极单元(4)的后端读出电路连接信号，所述未收集电极(3)根据不同需要对空穴进行收集与不收集操作。
2.根据权利要求1所述的多共面栅阳极像素阵列式能谱探测器，其特征在于，所述收集电极(2)与未收集电极(3)为铬金复合电极。
3.根据权利要求1所述的多共面栅阳极像素阵列式能谱探测器，其特征在于，所述收集电极(2)与未收集电极(3)的厚度在50nm到100nm之间。
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