[发明专利]一种用于芯片加工的具有杀菌消毒功能的外观检测设备

说明书

本发明涉及一种用于芯片加工的具有杀菌消毒功能的外观检测设备，包括底箱、支架、镜筒、物镜、连接杆、连接轴承、两个目镜和两个连接管，所述支架固定在底箱上，所述物镜设置在镜筒的底端，所述连接管与目镜一一对应，所述连接管的轴线与镜筒的轴线垂直，所述连接管位于支架和镜筒之间，所述连接管的一端与镜筒连接，所述目镜设置在连接管的另一端，所述目镜的形状为圆柱形，所述支架上设有消毒机构，所述底箱内设有防尘机构，该用于芯片加工的具有杀菌消毒功能的外观检测设备通过防尘机构起到了物镜防尘的效果，避免灰尘遮挡使用者的视线，不仅如此，还通过消毒机构实现了对目镜杀菌消毒的效果。

技术领域

本发明涉及芯片检测设备领域，特别涉及一种用于芯片加工的具有杀菌消毒功能的外观检测设备。

背景技术

芯片检测设备主要针对晶圆上的芯片完成切割后的外观检测，比如尺寸、破损、裂粒、气孔、裂痕、镍层不良等等，其中，显微镜是芯片检测设备中常见的一种，显微镜主要用于检测芯片的外观。

现有的显微镜在使用时，使用者眼部分泌物易沾染到显微镜上，而不同使用者使用后，易形成交叉感染，不仅如此，显微镜在长期使用后，镜面上会出现灰尘，而灰尘会遮挡使用者观察视线，降低了实用性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种用于芯片加工的具有杀菌消毒功能的外观检测设备。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于芯片加工的具有杀菌消毒功能的外观检测设备，包括底箱、支架、镜筒、物镜、连接杆、连接轴承、两个目镜和两个连接管，所述支架固定在底箱上，所述物镜设置在镜筒的底端，所述连接管与目镜一一对应，所述连接管的轴线与镜筒的轴线垂直，所述连接管位于支架和镜筒之间，所述连接管的一端与镜筒连接，所述目镜设置在连接管的另一端，所述目镜的形状为圆柱形，所述目镜与连接管同轴设置，所述目镜的直径大于连接管的直径，所述连接轴承安装在镜筒上，所述连接轴承的外圈通过连接杆与支架固定连接，所述支架上设有消毒机构，所述底箱内设有防尘机构；

所述防尘机构包括气缸和防尘板，所述防尘板与镜筒垂直，所述防尘板位于物镜和底箱之间，所述防尘板覆盖在物镜上，所述气缸设置在底箱的内壁上，所述气缸的气杆与防尘板的远离物镜的一侧固定连接，所述气缸的气杆与镜筒同轴设置，所述底箱的靠近物镜的一侧设有凹口，所述凹口与防尘板匹配；

所述消毒机构包括转动组件和消毒组件，所述转动组件设置在连接杆上，所述转动组件与镜筒传动连接，所述消毒组件包括消毒箱、电磁铁、通孔、两个复位单元和至少两个消毒灯，所述消毒箱设置在镜筒和支架之间，所述电磁铁固定在支架的靠近镜筒的一侧，所述电磁铁与消毒箱正对设置，所述消毒箱的制作材料为铁，所述通孔设置在消毒箱的靠近镜筒的一侧，所述通孔的内壁上设有清洁布，所述清洁布铺设在通孔的内壁上，所述通孔的孔径与目镜的直径相等，所述连接管穿过通孔，所述消毒灯均匀设置在消毒箱内的顶部和底部，所述复位组件设置在支架上，所述电磁铁位于两个复位组件之间，所述消毒箱与复位组件连接，所述电磁铁与消毒箱之间设有间隙。

作为优选，为了驱动消毒箱复位，所述复位组件包括滑杆、连接块和弹簧，所述滑杆与连接管平行，所述支架套设在滑杆上，所述滑杆的一端与消毒箱固定连接，所述连接块固定在消毒箱的另一端，所述弹簧位于支架和连接块之间，所述支架通过弹簧与连接块连接。

作为优选，为了减小滑杆与支架之间的摩擦力，所述滑杆上涂有润滑油。

作为优选，为了避免目镜与消毒箱的内壁相撞，两个连接管上均设有连接环，所述连接管穿过连接环，所述连接管与连接环密封且固定连接，所述连接环的外径大于通孔的孔径，所述连接环与消毒箱贴合。

作为优选，为了提高密封性，所述连接环的制作材料为橡胶。