[发明专利]一种解理制备石墨烯的方法在审
申请号: | 201910302249.0 | 申请日: | 2019-04-16 |
公开(公告)号: | CN110040721A | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 黄元 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 郭广迅 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨烯 石墨 胶带 基底 制备 解理 基底材料 等离子体清洗 氧等离子体 热处理 剥离胶带 超声清洗 基底表面 溶剂清洗 溶剂 贴附 清洗 | ||
1.一种解理制备石墨烯的方法,包括以下步骤:
(1)在不使用溶剂清洗基底的表面的情况下,仅通过氧等离子体清洗基底的表面;
(2)用胶带机械解理石墨,将胶带上的石墨贴附到步骤(1)中制得的等离子体清洗的基底表面上,得到胶带-石墨-基底材料,于80~140℃下热处理1~30分钟;和
(3)将步骤(2)中制得的胶带-石墨-基底材料自然冷却,从基底上剥离胶带,从而制得石墨烯。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述基底为SiO2/Si基底、蓝宝石基底、玻璃基底或石英基底。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述步骤(1)中采用氧等离子体清洗基底表面在如下条件下进行:气流量为20~50sccm,功率为50~100W。
4.根据权利要求1所述的方法,其中,所述步骤(2)中的热处理采用的温度为80~140℃。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,所述步骤(2)中的热处理采用的温度为100~120℃。
6.根据权利要求5所述的方法,其中,所述步骤(2)中的热处理采用的温度为100~105℃。
7.根据权利要求1所述的方法,其中,所述步骤(2)中的热处理进行2~30分钟。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,所述步骤(2)中的热处理进行2~10分钟。
9.根据权利要求8所述的方法,其中,所述步骤(2)中的热处理进行2~3分钟。
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