[发明专利]一种超硬材料的微透镜阵列制造方法

权利要求书

1.一种超硬材料微透镜阵列的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

根据微透镜的曲率半径选择对应直径的多个球头棒材；所述球头棒材的球头为微透镜阵列制造中的塑形模具；

调整所述球头棒材和所述待加工工件的相对位置，使所述球头棒材的球头与所述待加工工件接触，并进行位置固定；所述待加工工件的待加工表面位于x-y轴构成的平面上；所述球头棒材设置在上述待加工表面的上方，且所述球头棒材的轴线沿Z轴方向设置；

按设定路径移动待加工工件的同时，驱动多个所述球头棒材转动，且不断向所述待加工表面喷洒金刚石颗粒悬浮液，同时逐渐将所述待加工工件沿z轴方向上升距离h；所述距离h为微透镜阵列的加工深度。

2.根据权利要求1所述的超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述待加工工件固定于三维电动平移台上。

3.根据权利要求1所述的超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述球头棒材为棒状钢材；所述球头棒材的球头为球冠形状。

4.根据权利要求1所述的超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，采用夹具固定所述球头棒材。

5.根据权利要求4所述的超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，采用电机驱动多个所述球头棒材转动；所述电机设置在所述夹具的上方。

6.根据权利要求1所述的超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，在所述按设定路径移动待加工工件的同时，转动多个所述球头棒材，且不断向所述待加工工件表面喷洒金刚石颗粒悬浮液，同时逐渐将所述待加工工件沿z轴方向上升距离h这一步骤之后，还包括：将加工完成的工件清洗后干燥。

7.根据权利要求6所述的超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述将加工完成的工件清洗后干燥，具体包括：将加工完成的工件置于丙酮中清洗后干燥。