[发明专利]基板烘烤设备

权利要求书

1.一种基板烘烤设备，其特征在于，所述基板烘烤设备包含：

一框架结构；

一机台本体，其固定设置于所述框架结构，所述机台本体彼此相反的两端分别具有一基板入口及一基板出口，所述机台本体的内部具有一烘烤通道，所述烘烤通道的两端为所述基板入口及所述基板出口；所述机台本体的一侧具有一维修门，所述维修门能被开启而使所述烘烤通道与外连通；所述机台本体的底部具有至少一个容置孔，所述烘烤通道能通过所述容置孔与外连通；

至少一加热装置，其设置于所述机台本体，所述加热装置能被控制以提升所述烘烤通道中的温度；

一移载装置，其设置于所述机台本体，所述移载装置能固持多个基板，且所述移载装置能被控制以使多个所述基板于所述烘烤通道中移动；

至少一风机，其包含：

一限位结构，所述风机能通过所述限位结构可拆卸地固定于所述机台本体的所述底部，且所述限位结构能限制所述风机无法由所述机台本体内通过所述容置孔移出至所述机台外；

一风扇，其固定设置于所述限位结构的一侧；

一导风罩，其固定于所述限位结构的一侧，且所述导风罩罩设所述风扇；所述导风罩用以导引所述风扇运作所产生的风的流动方向；

一马达，其固定设置于所述限位结构相反于设置有所述风扇的一侧，所述马达能被控制而作动，并据以带动所述风扇旋转；

一控制机组，其固定设置于所述限位结构相反于设置有所述风扇的一侧，所述控制机组能控制所述马达作动；

其中，当所述限位结构固定设置于所述机台本体的所述底部时，所述导风罩及所述风扇对应位于所述机台本体中，而所述控制机组及所述马达则对应位于所述机台本体外；

所述机台本体露出有所述马达的一侧，与所述框架结构形成有一架空空间，所述架空空间的高度小于所述风机的高度，而所述风机无法通过所述架空空间移出所述机台本体；

其中，当所述风机能被拆卸而与所述机台本体相互分离时，所述风机能通过被开启的所述维修门移出所述机台本体。

2.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述限位结构设置有所述风扇的一侧，还设置有至少一个把手结构，所述把手结构用以提供用户提拿所述风机。

3.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述限位结构具有多个第一定位结构，所述机台本体的所述底部具有多个第二定位结构，多个所述第二定位结构邻近所述容置孔设置；多个所述第一定位结构及多个所述第二定位结构能相互配合，据以限制所述限位结构与所述容置孔的相对位置。

4.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述机台本体中包含有至少一导风通道，所述导风通道一端连接所述导风罩，所述导风通道的另一端与所述烘烤通道相连通；所述风扇运作时，所述风机能吸入烘烤空间中的空气，并使空气通过所述导风出口及所述导风通道导引，而由所述导风通道的另一端重回至所述烘烤通道。

5.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述机台本体中还包含有多个隔热门，多个所述隔热门可拆卸地固定设置于所述机台本体；当至少一个所述隔热门被拆卸且所述维修门被开启时，所述烘烤通道能与外连通。

6.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述加热装置包含多个电热棒组件，多个所述电热棒组件的长度方向平行于所述烘烤通道的轴向方向。

7.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述加热装置包含有一进气装置及一电热组件，所述进气装置设置于所述机台本体的所述底部，所述电热组件用以提升所述进气装置由所述机台本体外所吸入的空气；所述进气装置的出风口邻近于所述风扇设置，而所述风扇运作时能吸入，由所述进气装置的出风口排出的经过所述电热组件加热后的空气。

8.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述机台本体的所述底部于所述容置孔的周围形成有一阶梯结构，所述阶梯结构区隔所述容置孔为一第一容置孔及一第二容置孔，所述第一容置孔邻近于所述烘烤通道，所述第一容置孔的孔径大于所述第二容置孔的孔径；所述限位结构能对应与所述阶梯结构相互卡合，而所述限位结构能限制所述风机无法通过所述第二容置孔移出所述机台本体。