[发明专利]一种槽体支撑机构及其使用方法在审
申请号: | 201910304613.7 | 申请日: | 2019-04-16 |
公开(公告)号: | CN109979859A | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 丁旭;罗文滨 | 申请(专利权)人: | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 230001 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内槽 外框 衔接板 外槽 支撑机构 种槽 支撑 外表面中间位置 整体结构设计 空间利用率 槽体支撑 侧向滑动 对称设置 对称位置 粉尘污染 滑动挡板 滑动档板 右支撑板 左支撑板 内侧壁 石英管 底端 连通 贯穿 | ||
1.一种槽体支撑机构,其特征在于,包括外槽(1),所述外槽(1)内侧壁上设置有左支撑板(2)与右支撑板(3),所述外槽(1)内设置有内槽安装外框(4),贯穿所述内槽安装外框(4)底部设置有内槽(5),所述内槽安装外框(4)两侧外表面中间位置对称设置有一号衔接板(6)与二号衔接板(7),所述一号衔接板(6)底端安装有一号支撑块(8),所述一号支撑块(8)关于内槽安装外框(4)对称位置设置有二号支撑块(10),所述内槽(5)上连通有至少一组石英管(11);
所述一号衔接板(6)包括垫板(15)、右侧板(14)与左侧板(16),所述左侧板(16)与右侧板(14)分别安装于垫板(15)两端,贯穿所述垫板(15)与一号支撑块(8)之间连接有一号螺栓(9)与二号螺栓(13);
所述内槽安装外框(4)底端开设有内槽安装通孔(17),所述内槽安装外框(4)一侧内壁上安装有两组上限位块(18),所述内槽安装外框(4)底部安装有环形挡板(22),环形挡板(22)与内槽安装通孔(17)端口相切,所述内槽安装外框(4)另一侧内壁上安装有两组下限位块(19),所述内槽(5)外侧壁上安装有上滑动挡板(20)与下滑动挡板(21)。
2.根据权利要求1所述的一种槽体支撑机构,其特征在于,两组所述上限位块(18)之间的距离与上滑动挡板(20)的长度相同,且上滑动挡板(20)相切于两组上限位块(18)之间,两组所述下限位块(19)之间的距离与下滑动挡板(21)的长度相同,且下滑动挡板(21)相切于两组所述下限位块(19)之间,所述内槽(5)通过上滑动挡板(20)与下滑动挡板(21)配合上限位块(18)与下限位块(19)滑动安装于内槽安装外框(4)内,环形挡板(22)的宽度与上滑动挡板(20)和下滑动挡板(21)的宽度相同。
3.根据权利要求1所述的一种槽体支撑机构,其特征在于,所述上滑动挡板(20)与下滑动挡板(21)对称焊接在内槽(5)外侧壁上,且内槽(5)上端口设计为波浪状,每组所述石英管(11)包括两个进水管与一个出水管,进水管的喷口与水平面呈45度设置。
4.根据权利要求1所述的一种槽体支撑机构,其特征在于,所述左侧板(16)与右侧板(14)的形状均为梯形,且左侧板(16)与右侧板(14)均焊接在内槽安装外框(4)外侧壁上,且左侧板(16)与右侧板(14)关于垫板(15)对称设置。
5.根据权利要求1所述的一种槽体支撑机构,其特征在于,所述一号支撑块(8)上开设有两组螺栓槽,所述垫板(15)通过一号螺栓(9)与二号螺栓(13)配合螺栓槽与一号支撑块(8)连接。
6.根据权利要求1所述的一种槽体支撑机构,其特征在于,所述左支撑板(2)和右支撑板(3)垂直面均与外槽(1)内侧壁焊接,且左支撑板(2)与右支撑板(3)的形状均为梯形,所述一号支撑块(8)和二号支撑块(10)端面均与外槽(1)内侧壁焊接,且左支撑板(2)与右支撑板(3)对称设置,所述左支撑板(2)与右支撑板(3)的数量均为两组,两组左支撑板(2)对称焊接在一号支撑块(8)底端,两组右支撑板(3)对称焊接在二号支撑块(10)底端。
7.根据权利要求1所述的一种槽体支撑机构,其特征在于,所述内槽(5)与内槽安装通孔(17)相吻合,所述环形挡板(22)与上滑动挡板(20)和下滑动挡板(21)配合。
8.根据权利要求1所述的一种槽体支撑机构,其特征在于,三组并排所述石英管(11)与内槽(5)连通,另一组石英管(11)贯穿内槽安装外框(4)侧壁与内槽(5)连通。
9.一种槽体支撑机构的使用方法,其特征在于,所述槽体支撑机构的使用方法如下:
步骤一:首先通过将左支撑板(2)与右支撑板(3)垂直面焊接在外槽(1)内侧壁上,将一号支撑块(8)与二号支撑块(10)端面焊接在外槽(1)内侧壁上,接着将两组左支撑板(2)与右支撑板(3)分别焊接在一号支撑块(8)与二号支撑块(10)底端两侧;
步骤二:其次通过将一号衔接板(6)与二号衔接板(7)垂直面对称焊接在内槽安装外框(4)外侧壁中间位置,另一垂直面通过一号螺栓(9)与二号螺栓(13)配合螺栓槽连接在一号支撑块(8)与二号支撑块(10)上,完成对内槽安装外框(4)的固定;
步骤三:最后通过在内槽安装外框(4)内侧壁上安装有上滑动挡板(18)与下滑动挡板(19),在内槽(5)两外侧壁上安装有上限位块(20)与下限位块(21),接着通过将上限位块(20)与下限位块(21)沿着上滑动挡板(18)与下滑动挡板(19)滑进内槽安装外框(4),完成内槽(5)的安装,其中内槽(5)穿过内槽安装通孔(17)凸出于内槽安装外框(4)底部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造