[发明专利]一种用于光刻机的镭射架

说明书

本发明公开了光刻机镭射架技术领域的一种用于光刻机的镭射架，包括插杆、螺纹杆、套管和两组固定板，通过内螺纹管、塑料五星把手螺栓和正六边形板限制套管上下移动和固定，利用插杆和套管带动固定板固定在楼层之间，采用镭射管卡在两组软橡胶板和弧形软橡胶块之间，从而抑制住镭射管在水平方向的震动，确保光刻机本身震动在传递给镭射管时，其镭射管在水平方向的震动幅度在设备技术要求范围允许内；从而确保激光束能顺利通过镭射管传输给光刻机，保障了光刻机能正常运转，该装置操作简单，上下伸缩，可以运用在不同楼层之间，具有广泛的市场运用前景。

技术领域

本发明涉及光刻机镭射架技术领域，具体为一种用于光刻机的镭射架。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。一般情况下，光刻机的镭射管高度会达到五米，贯穿整个楼层，其中镭射管一般情况下由多段镭射管组成。鉴于镭射管本身的高度以及光刻机设备本身运转时的微震动，其震动会传递给镭射管，震动会随着镭射管的高度增加而逐渐被放大。当镭射管的震动幅度达到一定程度时，镭射管本身的震动变形会直接影响其内部的激光束传输，因为激光束会由于镭射管的水平方向变形而导致在变形管壁处产生折射，从而对激光束有破坏，进一步导致对光刻机的正常工作造成很大的影响，间接导致其产品质量差，甚至产品直接报废。故亟需设计一种支架来抑制镭射管的微震动，防止影响激光束的传输，基于此，本发明设计了一种用于光刻机的镭射架，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于光刻机的镭射架，以解决上述背景技术中提出的亟需设计一种支架来抑制镭射管的微震动，防止影响激光束的传输的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于光刻机的镭射架，包括插杆、螺纹杆、套管和两组固定板，所述螺纹杆同轴一体焊接在插杆上，所述套管套接在插杆外壁上，所述套管的底端通过轴承和阶梯通孔同轴转动设置有与螺纹杆相匹配的内螺纹管，所述内螺纹管的外壁顶部同轴套接有正六边形板，所述内螺纹管的外壁通过螺纹通孔固定有塑料五星把手螺栓，两组所述固定板分别焊接在套管的顶端和插杆的底端，所述套管的外壁前侧上下和插杆的外壁下部均水平焊接有横向固定装置，所述横向固定装置的右端焊接有传动装置，上部和中部两组所述传动装置之间通过大方管连接，中部和下部两组所述传动装置之间通过贯穿插接在大方管内腔的小方管连接，下部所述传动装置的底部固定连接有限位装置，且限位装置包覆在小方管外侧，所述小方管的底端焊接有摇柄；

所述横向固定装置包括横管，所述横管的内腔水平中央通过轴承转动设置有丝杠，所述丝杠的外壁配合设有螺母副，所述螺母副的左侧水平焊接有空心柱，所述空心柱与丝杠同轴分布，所述空心柱的左端固定胶粘有弧形软橡胶块，所述横管的左端前后中心对称竖向均焊接有安装板，所述安装板的相对内表面左侧焊接有L型限位板，所述L型限位板的内腔拐角处通过九十度弹簧合页设置有转板，两组所述转板的外侧面贴合，所述转板的内表面固定胶粘有软橡胶板，所述弧形软橡胶块的竖向中线与两组软橡胶板之间的贴合缝隙相对平齐分布；

所述传动装置包括箱体，所述丝杠右端通过轴承贯穿延伸到箱体内腔左侧中央，所述大方管贯穿焊接在箱体上下表面轴线上，所述丝杠的右端与大方管的外壁之间通过锥齿轮副连接。

优选的，底部所述固定板的侧面和上表面均镶嵌固定有水平尺。

优选的，所述限位装置包括圆环，所述圆环的表面设置有贯穿T型圆槽，所述圆环的底部焊接有挡圈，所述贯穿T型圆槽的内腔滑动设置有两组T型滑块，所述T型滑块的顶部设置有转动块，所述转动块、T型滑块和贯穿T型圆槽内腔底部之间通过长螺栓限位，所述转动块的外壁焊接有推板。

优选的，所述转动块和T型滑块的贴合面设置有防滑纹路。

优选的，所述丝杠的两端均转动设置有安装轴承，左侧所述安装轴承通过轮叉固定在横管内腔左侧，所述空心柱的后表面设置有水平通槽，且轮叉贯穿于水平通槽内腔。