[发明专利]生产TEM样品的方法

权利要求书

1.一种使用粒子束系统来生产TEM样品的方法，该粒子束系统包括：离子束柱(25)和物体固持器(13)，其中，该物体固持器(13)包括基座元件(15)、第一元件(17)、第二元件(19)、第一致动器、以及第二致动器，其中，该第一致动器被配置用于使该第一元件(17)相对于该基座元件(15)围绕第一旋转轴线(21)旋转，其中，该第二致动器被配置用于使该第二元件(19)相对于该第一元件(17)围绕第二旋转轴线(23)旋转，并且其中，该第一旋转轴线(21)基本上垂直于该第二旋转轴线(23)定向；

其中，该方法包括：

将物体(3)紧固到该物体固持器(13)的第二元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)基本上垂直于该第二旋转轴线(23)布置；并且

通过将该物体(3)抛光来生产该TEM样品，其中，抛光包括：

-控制该第一致动器使得该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向，并且控制该第二致动器使得该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第一旋转位置；

-当该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向、并且该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第一旋转位置时，将该离子束柱(25)产生的离子束引至该物体(3)；

-控制该第一致动器使得该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向，并且控制该第二致动器使得该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第二旋转位置，其中，该第二旋转位置与该第一旋转位置不同；并且

-当该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向、并且该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第二旋转位置时，将该离子束柱(25)产生的离子束引至该物体(3)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，以这种方式将该物体(3)紧固到该第二元件(19)上并且实施该物体固持器(13)，使得该物体(3)与该第二元件(19)之间不存在可控的移动自由度。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，该物体固持器(13)被实施成使得该第二元件(19)与该第一元件(17)之间不存在进一步可控的旋转移动自由度。

4.根据权利要求1至3之一所述的方法，

其中，该物体固持器(13)被实施成使得当该第一元件(17)围绕该第一旋转轴线(21)旋转时，该第二元件(19)围绕该第一旋转轴线(21)旋转，和/或

其中，该物体固持器(13)被实施成使得当该第二元件(19)围绕该第二旋转轴线(23)旋转时，该第一元件(17)不围绕该第二旋转轴线(23)旋转。

5.根据权利要求1至4之一所述的方法，其中，该第一旋转位置与该第二旋转位置相差至少5°、优选地至少10°、和/或最多45°、优选地最多35°。

6.根据权利要求1至5之一所述的方法，其中，当该第二元件(19)从该第一旋转位置围绕该第二旋转轴线(23)旋转到该第二旋转位置上时，该离子束至少暂时被引导至该物体(3)。

7.根据权利要求1至5之一所述的方法，其中，当该第二元件(19)从该第一旋转位置围绕该第二旋转轴线(23)旋转到该第二旋转位置上时，该离子束不被引导至该物体(3)。