[发明专利]控制装置、控制系统、控制方法、记录介质以及机械学习装置

说明书

本发明提供一种控制装置、控制系统、控制方法、记录介质以及机械学习装置，该控制装置对包含马达的对象真空泵进行控制，具备：决定部，其利用对象真空泵或其它真空泵的过去的停止工序时的至少一个对象状态量，来决定该停止工序时的对象状态量的正常变动范围或正常时间变动举动，其中，该对象状态量是根据真空泵的停止工序时的负载而变动的状态量；和控制部，其对马达进行控制，控制部将对象真空泵的停止工序时的对象状态量与正常变动范围或正常时间变动举动进行比较，并根据比较结果变更停止工序中的马达的控制方法。

本申请要求2014年6月5日提交的日本专利申请第2018-107889号的优先权，并通过参照将其全部内容引入至本说明书。

技术领域

本发明涉及控制装置、控制系统、控制方法、记录介质以及机械学习装置。

背景技术

在半导体制造装置中广泛使用真空泵，该真空泵以在腔室内创造出真空环境为目的而将半导体制造工序中使用的气体从腔室内排出。作为这种真空泵，已知具有罗茨型或螺杆型的转子的容积式真空泵。

通常，容积式真空泵具备配置于壳体内的一对转子、和用于旋转驱动该转子的马达。在一对转子之间以及转子与壳体的内表面之间形成有微小的间隙，转子以与壳体非接触地旋转的方式构成。而且，通过使一对转子同步且彼此向相反方向旋转，壳体内的气体从吸入侧被移送至排出侧，且气体从与吸入口连接的腔室等被排出。

半导体制造工序中使用的气体、或者所使用的气体因化学反应而生成的物质中，有时会包含当温度下降时发生固态化或液态化的成分。通常，由于上述真空泵在将气体移送的过程中会产生压缩热，所以运转中的真空泵以某种程度变成高温。在通过基于压缩热导致的高温化不会高于气体中的成分或者生成物质固态化或液态化温度的情况下，通过对泵主体进行外部加热或者通过流入的气体的加热来维持真空泵的高温。使用上述真空泵，即使在将包含上述成分的气体排出了的情况下，也不会使气体中的成分或者生成物质固态化或液态化，能够进行良好的真空排气。

然而，具有以下半导体制造工序，其无法通过上述真空泵的高温化防止使用的气体或者来自所使用的气体的生成物质液态化、固态化。当继续该工序中的真空泵运转时，该固态化后的生成物(反应生成物)会堆积在泵转子之间或泵转子与壳体之间的间隙内。虽然在泵运转中的高温化的状态下，泵转子与壳体之间存在间隙，但在泵停止后、泵低温化的状态下，有时会因所堆积的生成物的影响而导致间隙消失。在泵转子与壳体之间不存在间隙的情况下，会发生泵无法起动的状况而无法开始制造流程。另外，也存在以下情况：当停止真空泵的运转而真空泵的温度慢慢下降时，残留于壳体内的气体中所含的成分固态化，且该固态化后的生成物(反应生成物)会堆积在转子之间、转子与壳体之间的间隙内。而且，若该生成物的堆积继续发展，则不仅会妨碍真空泵的起动，而且会通过在真空泵的运转中对真空泵施加过剩的负载，导致在制造流程中真空泵停止而对制造流程造成很大损害。

在日本特开2009-97349号公报中公开了一种真空泵的运转控制装置，该真空泵具备旋转自如地配置于壳体内的转子，该运转控制装置具备控制转子旋转的转子控制部，转子控制部具备在真空泵的运转停止时依照规定的时间模型使转子向正向及/或反向旋转之后再将该转子停止的功能。

即使作为日本特开2009-97349号公报的技术，在真空泵停止时，有时也无法将壳体内固态化或液态化后的生成物完全排除来正常起动真空泵。因此，在从真空泵的运转一旦停止的状态再次开始真空泵的运转但无法将真空泵正常起动的情况下，必须再次停止真空泵的运转来进行真空泵的维护或更换。因此，半导体制造装置的停止期间会因真空泵运转的再次停止而延长。这样，由于半导体制造装置的停止期间会随着真空泵因生成物导致的异常而变长，所以期望降低真空泵的维护或更换的发生频率。另外，通常排气系统大多具备多个真空泵，在该情况下，也期望在执行再起动之前以更高的概率仅特定需要维护的状态下的真空泵。这是因为，若是仅维护所特定的真空泵而由除此以外的真空泵继续运转，则不会造成在运转开始后使排气系统整体停止的不良影响，提高了作为系统整体能够继续运转的可能性。

发明内容