[发明专利]一种蓝宝石基材电子组件的金相切片样品制备方法有效
| 申请号： | 201910307415.6 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110018028B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 汤洪坤;刘小梅;黄丝梦;杨詠钧;杨培华;谢忠诚 | 申请（专利权）人： | 宸鸿科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京同钧律师事务所 16037 | 代理人： | 许怀远;马爽 |
| 地址： | 361006 福建省厦门市湖*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 基材 电子 组件 金相 切片 样品 制备 方法 | ||
1.一种蓝宝石基材电子组件的金相切片样品制备方法，其特征在于：所述的蓝宝石基材电子组件包括蓝宝石基材和柔性覆层；其中，所述的柔性覆层是聚酰亚胺及在其上的金属层；所述的制备方法包括以下步骤：将待处理蓝宝石基材电子组件样品以精密切割机设定刀轮速率为2500rpm，进刀率为1.5mm/min进行切割获得待研磨样品；将研磨抛光机设定磨盘转速为300rpm，依次更换目数类型为70μm、40μm、30μm、15μm、9μm、6μm、3μm的金刚石磨盘，每个目数类型对应研磨各5min；接著，将研磨抛光机设定磨盘转速为150rpm，依次更换目数类型为0.25μm、0.05μm的金刚石抛光液，进行抛光5min，获取所需金相切片样品；使用光学显微镜选择100倍物镜，调节至明场，进行研磨过程及最终抛光后的截面观察，并进一步量测导电线路的结构厚度。
2.如权利要求1中所述蓝宝石基材电子组件的金相切片样品制备方法，其特征在于：所述金刚石抛光液中包括金刚石微粒，所述金刚石抛光液中金刚石微粒粒径90wt％以上微粒分布在由粗至细的目数类型为0.5μm-0.05μm的范围内。
3.如权利要求2中所述蓝宝石基材电子组件的金相切片样品制备方法，其特征在于：所述金刚石微粒为聚晶金刚石。
4.如权利要求1-3中任一项所述蓝宝石基材电子组件的金相切片样品制备方法，其特征在于：在进行切割之前，还包括将待观测蓝宝石样品镶埋处理：将所述待观测蓝宝石样品置入样品模具中固定后，置入树脂及添加剂的混合物，待其硬化后获得所述待处理蓝宝石基材电子组件样品。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宸鸿科技（厦门）有限公司，未经宸鸿科技（厦门）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910307415.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
