[发明专利]一种玻璃微蚀刻方法

权利要求书

1.一种玻璃微蚀刻方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、在玻璃表面均匀涂覆金属铬形成铬层，在铬层表面均匀涂覆光刻胶形成胶层后得到覆膜玻璃；

S2、将覆膜玻璃曝光显影后得到预蚀刻玻璃；

S3、将预蚀刻玻璃投入蚀刻机中，采用蚀刻液进行蚀刻减薄；其中，所述蚀刻液的原料按质量百分比包括：H₂SO₄ 30-40％、HF 1.1-2％、HCl 0.1-0.5％、HNO₃ 0.1-1％、草酸0.2-1％、脂肪醇聚氧乙烯醚0.03-0.5％，余量为去离子水。

2.根据权利要求1所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，在S1中，所述玻璃为尺寸为550mm×650mm×0.33mm的钠钙玻璃。

3.根据权利要求1或2所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，在S1中，在玻璃表面均匀涂覆金属铬之前，还包括将玻璃表面进行超声波清洗。

4.根据权利要求1-3中任一项所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，在S1中，所述胶层的厚度为2-4μm。

5.根据权利要求1-4中任一项所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，在S1中，所述光刻胶的原料按重量份包括：酚醛树脂35-47份、改性丙烯酸羟乙酯8-13份、双丙酮丙烯酰胺3-7份、2-苯氧基乙基丙烯酸酯2-11份、光引发剂907 1-2份、光引发剂ITX 0.2-0.6份、硫酸钡2-11份、水溶性石墨烯3-9份、溶剂25-40份、助剂0.2-1.3份。

6.根据权利要求5所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，所述改性丙烯酸羟乙酯按照以下工艺进行制备：将丙烯酸羟乙酯和对羟基苯甲醚加入反应装置中，在氮气的保护下升温至65-75℃，加入三苯基膦，然后加入苯酐，升温至80-85℃，保温反应至酸值稳定后降温出料，得到物料A；将正丁醇加入反应装置中，在氮气的保护下升温至70-85℃，加入物料A、3-羟基-1-金刚烷基甲基丙烯酸酯、偶氮二异丁腈和链转移剂，搅拌反应3-4.5h，反应结束后调节温度为105-110℃，加入阻聚剂、催化剂后搅拌20-35min，加入甲基丙烯酸缩水甘油酯，保温反应100-160min，降温至80-90℃，脱除溶剂，然后降温至60-70℃，加入N,N-二甲基乙醇胺搅拌20-35min得到所述改性丙烯酸羟乙酯。

7.根据权利要求6所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，在改性丙烯酸羟乙酯的制备过程中，丙烯酸羟乙酯、苯酐的摩尔比为1：1.5-2；物料A、3-羟基-1-金刚烷基甲基丙烯酸酯的重量比为5-15：2-4；所述催化剂为四丁基溴化铵；所述阻聚剂为4-甲氧基苯酚；所述链转移剂为正十二硫醇。

8.根据权利要求1-7中任一项所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，在S2中，还包括将曝光显影后的覆膜玻璃在150-180℃下烘烤30-50min。

9.根据权利要求1-8中任一项所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，在S3中，蚀刻的温度为30-33℃，蚀刻的时间为55-65s。

10.根据权利要求1-9中任一项所述玻璃微蚀刻方法，其特征在于，在S3中，所述蚀刻液的原料按质量百分比包括：H₂SO₄ 39％、HF 1.5％、HCl 0.4％、HNO₃0.7％、草酸0.8％、脂肪醇聚氧乙烯醚0.08％，余量为去离子水。