[发明专利]一种消除电感耦合等离子体质谱二次放电的射频线圈在审
| 申请号： | 201910309460.5 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN109950124A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 王利;赵雪霖;邵正中;林翔;赵海燕;刘本康 | 申请（专利权）人： | 大连民族大学 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/10;H01J49/26;G01N27/62 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 胡景波 |
| 地址： | 116600 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频线圈 矩管 等离子 二次放电 样品锥 电感耦合等离子体质谱 接线端子 底端 等离子体 等离子体技术 接地金属片 感应电势 同轴设置 无氧铜管 制造成本 不接触 循环水 内管 内接 外管 中空 改造 | ||
1.一种消除电感耦合等离子体质谱二次放电的射频线圈，其特征在于，射频线圈两端设有接线端子A(5)和接线端子B(6)；接线端子A(5)中设有射频金属片(101)和射频包裹部(102)，射频包裹部(102)为圆柱状，射频金属片(101)为底端为3/4圆形的矩形片状结构，射频金属片(101)上设有电源孔(103)用于连接射频电源，该3/4圆形内径大于射频线圈(4)外径，该圆外径与射频包裹部(102)内径相同，射频线圈(4)、射频金属片(101)和射频包裹部(102)三者通过螺丝连接在一起。
2.根据权利要求1所述的一种消除电感耦合等离子体质谱二次放电的射频线圈，其特征在于，接线端子A(5)和接线端子B(6)的结构完全相同。
3.根据权利要求1所述的一种消除电感耦合等离子体质谱二次放电的射频线圈，其特征在于，所述的所述的射频线圈(4)为无氧铜管。
4.根据权利要求1所述的一种消除电感耦合等离子体质谱二次放电的射频线圈，其特征在于，所述的射频金属片(101)的材质为铜或银。
5.一种消除电感耦合等离子体质谱装置，其特征在于，该装置包括以下部件：等离子矩管、射频线圈(4)、接线端子A(5)、接线端子B(6)、接地金属片(10)和样品锥(9)；等离子体矩管靠近底端同轴设置射频线圈(4)，射频线圈(4)直径大于等离子矩管外径，两者不接触，射频线圈(4)两端设有接线端子A(5)和接线端子B(6)，接线端子A(5)和接线端子B(6)连接射频电源；等离子矩管底端开口，设置样品锥，样品锥(9)与等离子体矩管底端之间为大气环境，样品锥(9)内为真空泵抽的粗真空环境，样品锥(9)之间有孔隙，样品锥(9)和接线端子B(6)之间连有接地金属片(10)。
6.根据权利要求5所述的一种消除电感耦合等离子体质谱装置，其特征在于，等离子矩管包括内管(11)、中管(12)、外管(13)；其中内管(11)顶端设有内管进气口(1)，中管(12)和外管(13)靠近顶端设有中管进气口(2)和外管进气口(3)，内管(11)直径<中管(12)直径<外管(13)直径，内管(11)、中管(12)和外管(13)为同轴心设置，中管(12)套在内管(11)外面，外管(13)套在中管(12)外面，内管(11)端部突出于中管(12)端部，中管(12)端部突出于外管(13)端部。
7.根据权利要求5所述的一种消除电感耦合等离子体质谱装置，其特征在于，所述的等离子矩管的材质为石英材质。
8.根据权利要求5所述的一种消除电感耦合等离子体质谱装置，其特征在于，所述的接地金属片(10)材质为无氧铜或银箔，表面镀金或银。
9.根据权利要求5所述的一种消除电感耦合等离子体质谱装置，其特征在于，射频线圈(4)设于内管(11)出口端与等离子矩管出口端之间，射频线圈(4)与等离子矩管外壁的距离为1-3mm，射频线圈(4)到内管(11)出口端的距离为3-10mm，射频线圈(4)到等离子矩管出口端的距离为3-10mm。
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