[发明专利]一种金刚石膜研磨工装及其研磨方法

权利要求书

1.一种金刚石膜研磨工装，其特征在于，所述工装包括：

垂直定位轴，用于矫正所述金刚石膜膜厚均匀性；

下托板，作为金刚石膜支撑体并固定金刚石膜；

上托盘，用于夹持垂直定位轴和固定金刚石膜支撑体；

所述垂直定位轴可拆卸地设置在所述上托盘上；所述下托板可拆卸地设置在所述上托盘下方。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石膜研磨工装，其特征在于，所述上托盘下表面向所述上托盘中心方向延伸形成用于固定所述下托板的凹槽；上表面向所述上托盘中心方向延伸形成用于夹持所述垂直定位轴的定位孔。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石膜研磨工装，其特征在于，所述凹槽侧面设置若干穿透所述上托盘侧面的紧固螺孔。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石膜研磨工装，其特征在于，所述垂直定位轴采用轴承和摆动臂固定。

5.一种如权利要求1～4任一项所述金刚石膜研磨工装的研磨方法，其特征在于，所述方法包括：将固定有金刚石膜的所述下托板固定在所述上托盘下方，再在上托盘上方增加配重块以进行研磨加载，测量金刚石膜实时厚度时只需将所述下托板从所述上托盘上取出。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法具体包括以下步骤：

粘贴金刚石膜：将已标记有厚度测量点的所述金刚石膜固定在所述下托板一面上，对所述下托板标记与所述厚度测量点位置一一对应的位置；

组装所述金刚石膜研磨工装：将带有所述金刚石膜的所述下托板固定在所述上托盘下方的凹槽，再将所述上托盘置于研磨机上，垂直定位轴插入所述上托盘上的定位孔，所述垂直定位轴采用轴承和摆动臂固定；

金刚石膜的研磨：在上托盘上方增加配重块，实现所述金刚石膜的研磨加载；

金刚石膜的厚度测量：在金刚石膜的研磨过程中，随时停机，取出所述垂直定位轴，卸下所述上托盘；将带有所述金刚石膜的所述下托板取出；根据所述下托板表面的位置标记，一一进行厚度测量，得到所述金刚石膜的去除量，从而计算出所述金刚石膜的实际厚度变化情况；

厚度测量完毕后只需将所述下托板固定在所述上托盘下方，继续对所述金刚石膜研磨。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述下托板与所述上托盘之间采用顶丝固定。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述粘贴金刚石膜中，粘贴过程进行配重加压以确保粘贴紧密；待粘贴完成后，根据所述厚度测量点位置再进行厚度测量，此时的厚度包括下托板厚度和所述金刚石膜的厚度。