[发明专利]一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法

权利要求书

1.一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法，其特征在于：所述的检测方法的步骤为：

步骤一、激光器发出的激光束经过光束整形系统形成会聚光，会聚光经过样品反射后到达CCD靶面，调整样品的位置和姿态，使会聚光束的会聚点位于CCD的靶面中心且使会聚光轴垂直于CCD靶面，此时反射点到CCD靶面中心的距离为L；

步骤二、光束照在样品表面缺陷区域，CCD上得到散射分布图；

步骤三、对散射分布图利用重心法求出中心位置，以中心位置为基准点，沿不同方向取值可以得到一维的光强分布曲线I(w)，曲线横坐标为取样方向上每一点与基准点之间的距离w，纵坐标为图像的灰度图，对应该点的光强度I

由光强分布曲线为I(θ)，转换为二维矩阵[I，θ]；

取光强I的最大值为Imax，取样间隔为Δ_Imax，光强I的最小值Imin，取样间隔为Δ_Imin，设置缺陷在取值方向上的宽度范围为(d_min，d_max)，取值间隔为Δ_d

所述缺陷在取样方向上的宽度计算过程如下：

Step1：设置入射光波长λ，设置I₀＝0，I_g＝0，I_rms0＝a，d＝d_min；

Step2：读取二维矩阵[I，θ]；

Step3：将d，θ和λ代入得到一维矩阵α；

Step4：将α，I₀和I_g代入得到一维矩阵I₁；

Step5：计算均方根值I_rms＝rms(I₁-I)；

Step6：如果I_rms＜I_rms0，则I_rms0＝I_rms；d′＝d；

Step7：I_g＝I_g+Δ_Imin，如果I_g＜I_min，则转到Step4；

Step8：I₀＝I₀+Δ_Imax，如果I₀＜I_max，则转到Step4；

Step9：d＝d_min+Δ_d，如果d＜d_max，则转到Step3；

Step10：d′为计算的缺陷在取样方向上的宽度；

步骤四、重复步骤三的过程，对于散射图在不同的方向上取值，可以获得缺陷在不同取样方向上的宽度值，由此拟合出缺陷的二维轮廓。