[发明专利]柔性显示面板及其制备方法有效
申请号: | 201910312952.X | 申请日: | 2019-04-18 |
公开(公告)号: | CN110098225B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 赵富强 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;G09F9/30;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
1.一种柔性显示面板,其特征在于,包括:
第一基层;
第二基层,覆于所述第一基层上;
缓冲层,覆于所述第二基层上;
薄膜晶体管层,设于所述缓冲层上;以及
功能层,设于所述薄膜晶体管层上;
其中,所述第一基层的拉伸强度小于所述第二基层的拉伸强度,所述第一基层的熔点为400~1000℃;所述第二基层的熔点为400~1000℃;所述第一基层的拉伸强度为100~200MPa;所述第二基层的拉伸强度为200~400Mpa,所述第一基层充当粘结层与牺牲层。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,
所述第一基层与所述第二基层中均具有相同母分子团,所述母分子团为酰亚胺链;所述第一基层的厚度为1~10um。
3.根据权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,
所述功能层包括
显示器件结构层,设于所述薄膜晶体管层上;以及
薄膜封装层,设于所述显示器件结构层。
4.一种柔性显示面板制备方法,其特征在于,包括:
提供一玻璃基板;
形成第一基层于所述玻璃基板上,所述第一基层充当粘结层与牺牲层;形成第二基层于所述第一基层上,所述第一基层的拉伸强度小于所述第二基层的拉伸强度;
形成缓冲层于所述第二基层上;
形成薄膜晶体管层于所述缓冲层上;
形成各功能层于所述薄膜晶体管层上;
将所述玻璃基板从所述第一基层上剥离;
在形成第一基层的步骤中,包括将第一聚酰亚胺溶液涂布于所述玻璃基板上,并进行预热固化形成一第一基层的半成品;
在形成第二基层的步骤中,包括将第二聚酰亚胺溶液涂布于所述第一基层的半成品上,其中,所述第二聚酰亚胺溶液与所述第一聚酰亚胺溶液中均具有相同母分子团,所述母分子团为酰亚胺链,所述第二聚酰亚胺溶液部分的渗透于所述第一基层的半成品中;再次热固化形成第一基层和第二基层。
5.根据权利要求4所述的柔性显示面板制备方法,其特征在于,
所述预热固化的温度为100~200℃;
所述再次热固化的温度为200~300℃。
6.根据权利要求4所述的柔性显示面板制备方法,其特征在于,在提供一玻璃基板步骤后,还包括:对所述玻璃基板的表面进行等离子处理。
7.根据权利要求4所述的柔性显示面板制备方法,其特征在于,在将所述玻璃基板从所述第一基层上剥离步骤中,通过紫外线照射所述玻璃基板,使紫外光透过所述玻璃基板并辐照所述第一基层,并通过外力拉扯所述第一基层使之从所述玻璃基板上剥离。
8.根据权利要求4所述的柔性显示面板制备方法,其特征在于,在形成各功能层步骤中,包括
形成显示器件结构层于所述薄膜晶体管层上;以及
形成薄膜封装层于所述显示器件结构层上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的