[发明专利]一种原位失效分析样品台及扫描电镜

说明书

本公开提供了一种原位失效分析样品台及扫描电镜。其中，一种原位失效分析样品台，包括换向部，其包括第一锥形齿轮和第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮啮合；第一锥形齿轮套设固定在第一齿轮轴上；第二锥形齿轮套设固定在第二齿轮轴上；夹持部，其安装在第二齿轮轴端部，用于夹持样品；驱动部，其与第一齿轮轴相连，用于驱动第一锥形齿轮转动，带动第二锥形齿轮原位转动，进而带动样品绕第二齿轮轴360度转动，以实现样品的原位失效分析。

技术领域

本公开属于扫描电镜样品台领域，尤其涉及一种原位失效分析样品台及扫描电镜。

背景技术

本部分的陈述仅仅是提供了与本公开相关的背景技术信息，不必然构成在先技术。

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料和非金属材料等检验和研究，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段。扫描电镜是用极细的电子束在样品表面扫描，将产生的二次电子用特制的探测器收集，形成电信号运送到显像管，在荧光屏上显示物体表面的立体构像。扫描电镜可进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体和晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量等。

由于扫描电镜具有分辨率高(纳米级)、景深大、图像富有立体感而且可以从数十倍到数千倍连续放大的功能，能够提供比其他显微镜多得多的信息，扫描电镜所显示的断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面，可以说是材料研究和失效分析领域中必备的大型仪器。

在进行扫描电镜形貌观察及能谱分析时，样品台通常为不同直径的平面圆台，在对样品进行扫描电镜分析时，依靠导电胶等将样品固定在样品台上，然后将样品台固定在扫描电镜样品室上的底座上。目前扫描电镜采用4轴或5轴试样载物台，使样品在移动行程内进行X、Y、Z各个方向的移动，可以实现样品台绕R轴360°转动，针对不同观察要求的试样，还可以使样品台绕T轴进行-15°至+75°或0°至90°的倾斜，如做EBSD分析时，需要将样品台倾斜70°。

然而考虑到可适用样品的多样性，现有样品台尚无法满足一些观察角度的迫切需要，一些仪器使用者对其进行改进：

专利号为CN 203503600 U的中国实用新型专利公开了一种扫描电镜多用途样品台，所述扫描电镜多用途样品台包括：夹持样品的样品夹持部；调整所述样品夹持部角度的调整部。调整部包括：球形万向节、支撑所述球形万向节的平台、以及调整所述球形万向节角度的调节件，所述球形万向节上设有与样品夹持部连接的接头，能够得到扫描电镜较佳的观察角度。

专利号为CN 204088258 U的中国实用新型专利公开了一种扫描电镜样品台，在样品台上设置竖直凹槽和倾斜凹槽，采用竖直凹槽将待测样品固定在凹槽内，便于样品截面的垂直观察；采用倾斜凹槽进行样品截面和表面的多角度观察；从而实现了大角度的视野范围内的检测，方便观察更多的测试细节。

专利号为CN 206947293 U的中国实用新型专利公开了一种用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，在原有的样品座上增加了预倾角立柱，避免了现有技术中观察断口样品时需对样品台进行大角度倾斜并反复调整，直至断面与电子束光源垂直，节省了工时，提高了工作效率。

专利号为CN 207528662 U的中国实用新型专利公开了EBSD测试用样品台。样品台自带70°角度，更换测试类型时无需反复调整样品台角度。