[发明专利]一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射方法，利用不导电的粉末靶，配合使用射频电源制备，具体包括以下步骤：

1）靶材制备：将不导电的粉末混合搅拌，混合搅拌5~10分钟，制得混合粉末原料，所述的粉末原料粒度不大于830μm；

所述的不导电的粉末包括氧化铝、零水偏硅酸钠、二氧化硅粉末、致色元素氧化物重量按51:61:90:0~51:61:90:2混合；或者，所述的不导电的粉末为Na₂O、Al₂O₃、SiO₂和Cr₂O₃按31:51:120:（0~2）重量配比的混合物或Na₂SiO₃、Al₂(SiO₃)₃和Cr₂O₃按61:141:（0~2）重量配比的混合物；

基体制备：将基体在去离子水中用超声清洗15分钟以上；

2）将混合粉末原料均匀铺满在样品台并压实，基体固定在压实的混合粉末原料上方12~18cm；

3）磁控溅射：采用机械泵和分子泵抽真空，当达到本底真空度3.0×10^-3Pa时通氩气，氩气流量为5~10sccm，基体偏压为-80~-120V，工作气压为1.0×10^-1~2.0×10^-1Pa进行磁控溅射，溅射功率为100~500W，溅射时间为1~8h，最终制成非晶翡翠薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1）中所述的氧化铝粒度不大于75μm，零水偏硅酸钠粒度不大于830μm，二氧化硅粒度不大于5μm。

3.根据权利要求1所述的一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法，其特征在于，所述的致色元素氧化物中的致色元素为铬、钛、铁、锰、钽或镁。

4.根据权利要求1所述的一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法，其特征在于，所述的基体为不锈钢、硅酸盐玻璃、陶瓷或环氧树脂。

5.根据权利要求1所述的一种人造非晶翡翠薄膜的制备方法，其特征在于，所述的基体制备：将基体按顺序分别在去离子水、酒精和丙酮中用超声清洗15分钟以上。