[发明专利]一种能够对膜很好剥离的去膜液在审
| 申请号： | 201910316191.5 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN109890143A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 吕永刚;赵东昊;郑峰 | 申请（专利权）人： | 苏州纳勒电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;G03F7/42 |
| 代理公司： | 苏州广恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32334 | 代理人： | 张利强 |
| 地址： | 215000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 去膜液 剥离 丙醇 去膜 四甲基氢氧化铵 二丙二醇甲醚 甲基苄胺 浓度调节 丙氧基 丁氧基 渗透力 微电路 乙醇胺 干膜 吡咯 羟胺 | ||
【权利要求书】：
1.一种能够对膜很好剥离的去膜液，其特征在于，包括的组分有：四甲基氢氧化铵、乙醇胺、羟胺、N-甲基苄胺、1-丙氧基-2-丙醇、二丙二醇甲醚、1-丁氧基-2-丙醇、吡咯、吡啶、水。
2.根据权利要求1所述的能够对膜很好剥离的去膜液，其特征在于，所述能够对膜很好剥离的去膜液的各组分的含量为：以质量分数计，四甲基氢氧化铵 6-9%、乙醇胺 15-25%、羟胺 15-25%、N-甲基苄胺 5-15%、1-丙氧基-2-丙醇 1-5%、二丙二醇甲醚 1-4%、1-丁氧基-2-丙醇 1-5%、吡咯 2-6%、吡啶 3-7%、水 余量。
3.根据权利要求1所述的能够对膜很好剥离的去膜液，其特征在于，所述能够对膜很好剥离的去膜液的各组分的含量为：以质量分数计，四甲基氢氧化铵 7.497%、乙醇胺 20%、羟胺 20%、N-甲基苄胺 10%、1-丙氧基-2-丙醇 3%、二丙二醇甲醚 2%、1-丁氧基-2-丙醇 3%、吡咯 4%、吡啶 5%、水 余量。
4.根据权利要求1所述的能够对膜很好剥离的去膜液，其特征在于，所述能够对膜很好剥离的去膜液在清除微电路之间的干膜的应用。
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