[发明专利]物理量传感器组件、倾斜仪以及构造物监视装置

权利要求书

1.一种物理量传感器组件，其特征在于，包括：

频率变化式物理量传感器，频率根据物理量的变化而变化；

基准信号振荡部，输出基准信号；

频率Δ-Σ调制部，使用基于从所述频率变化式物理量传感器输出的被测量信号的动作信号，对所述基准信号进行频率Δ-Σ调制，生成频率Δ-Σ调制信号；

第一滤波器，设置于所述频率Δ-Σ调制部的输出侧，与所述被测量信号同步动作；

第二滤波器，设置于所述第一滤波器的输出侧，与所述基准信号同步动作；以及

锁存器，设置于所述第一滤波器和所述第二滤波器之间，与所述基准信号同步动作，

所述频率变化式物理量传感器对所述物理量的输出信号特性具有非线性。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器组件，其特征在于，

通过所述第一滤波器和所述第二滤波器的组成而实现的作为滤波器特性的截止频率低于所述频率变化式物理量传感器的结构谐振频率。

3.根据权利要求2所述的物理量传感器组件，其特征在于，

所述结构谐振频率是根据所述频率变化式物理量传感器的结构确定的频率。

4.根据权利要求1所述的物理量传感器组件，其特征在于，

所述第一滤波器的输入输出特性设定为用于使所述被测量信号的非线性接近线性的特性。

5.根据权利要求4所述的物理量传感器组件，其特征在于，

所述第一滤波器是能够通过滤波器抽头数来改变平滑化定时的平滑滤波器，所述滤波器抽头数设定在使由于所述非线性而出现的所述被测量信号的振动整流误差降低的平滑化定时。

6.根据权利要求5所述的物理量传感器组件，其特征在于，

所述滤波器抽头数能够从外部进行设定变更。

7.根据权利要求5所述的物理量传感器组件，其特征在于，

所述第一滤波器能够通过所述平滑化定时的变更量的疏密不同的多个滤波器抽头数来改变所述平滑化定时。

8.根据权利要求1所述的物理量传感器组件，其特征在于，

所述物理量是加速度。

9.一种倾斜仪，其特征在于，具备：

权利要求1至8中任一项所述的物理量传感器组件；以及

计算部，根据所述物理量传感器组件的输出信号计算倾斜角度。

10.一种构造物监视装置，其特征在于，具备：

安装于构造物的权利要求1至8中任一项所述的物理量传感器组件；

发送部，安装于所述构造物，发送所述物理量传感器组件的输出；

接收部，接收来自所述发送部的发送信号；以及

计算部，根据所述接收部的接收信号计算所述构造物的倾斜角度。