[发明专利]带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置

权利要求书

1.一种带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，包括：微谐振检测结构和加热结构，以及用于承载所述微谐振检测结构和所述加热结构的基底，所述加热结构沿所述微谐振检测结构的周向设置在所述微谐振检测结构周围的所述基底上；所述加热结构包括第一加热梁、第二加热梁和第三加热梁，所述第一加热梁和所述第二加热梁关于所述第三加热梁对称，所述第一加热梁与所述第三加热梁围成第一框体，所述第二加热梁与所述第三加热梁围成第二框体；所述微谐振检测结构包括结构相同的第一检测体和第二检测体，所述第一检测体和所述第二检测体关于所述第三加热梁对称，所述第一检测体位于所述第一框体内侧，所述第二检测体位于所述第二框体内侧。

2.根据权利要求1所述的带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，所述加热结构还包括加热电路和加热电极，所述加热电极设置在所述第三加热梁的两端，并与所述加热电路连接。

3.根据权利要求1所述的带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，所述第一加热梁、所述第二加热梁和所述第三加热梁分别通过多个锚定点固定在所述基底上。

4.根据权利要求1所述的带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，所述第一加热梁、所述第二加热梁和所述第三加热梁分别附着在所述基底的相应位置。

5.根据权利要求1-4任一项所述的带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，所述第一检测体包括：

检测质量块，通过若干支撑梁悬浮固定在所述基底上，所述检测质量块能够沿第一方向弹性振动；以及

结构相同且关于平行于所述第一方向的所述检测质量块的中心线对称的第一敏感结构和第二敏感结构，所述第一敏感结构具有第一振梁，所述第一振梁的一端通过第一杠杆结构与所述检测质量块连接，所述第二敏感结构具有第二振梁，所述第二振梁的一端通过第二杠杆结构与所述检测质量块连接，所述第一振梁和所述第二振梁通过连接梁相互连接，并通过所述连接梁悬浮固定在所述基底上，所述第一杠杆结构和所述第二杠杆结构为相同的结构且关于所述中心线对称。

6.根据权利要求5所述的带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，所述第一敏感结构还包括连接在所述第一振梁上的第一动梳齿，以及对应所述第一动梳齿固定在所述基底上的第一定梳齿；

所述第二敏感结构还包括连接在所述第二振梁上的第二动梳齿，以及对应所述第二动梳齿固定在所述基底上的第二定梳齿。

7.根据权利要求5所述的带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，所述第一杠杆结构包括第一输入梁、第一输出梁、第一杠杆梁和第一支点梁，所述第一输入梁和所述第一输出梁分别垂直连接在所述第一杠杆梁的两端，所述第一输入梁远离所述第一杠杆梁的一端与所述检测质量块连接，所述第一输出梁远离所述第一杠杆梁的一端与所述第一振梁连接，所述第一支点梁垂直连接在所述第一杠杆梁的中部，且所述第一支点梁到所述第一输入梁的距离大于所述第一支点梁到所述第一输出梁的距离，所述第一支点梁远离所述第一杠杆梁的一端通过锚定点固定在所述基底上。

8.根据权利要求7所述的带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，所述第二杠杆结构包括第二输入梁、第二输出梁、第二杠杆梁和第二支点梁，所述第二输入梁和所述第二输出梁分别垂直连接在所述第二杠杆梁的两端，所述第二输入梁远离所述第二杠杆梁的一端与所述检测质量块连接，所述第二输出梁远离所述第二杠杆梁的一端与所述第二振梁连接，所述第二支点梁垂直连接在所述第二杠杆梁的中部，且所述第二支点梁到所述第二输入梁的距离大于所述第二支点梁到所述第二输出梁的距离，所述第二支点梁远离所述第二杠杆梁的一端通过锚定点固定在所述基底上。

9.根据权利要求1所述的带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，所述加热结构包括呈框形的加热本体，所述微谐振检测结构位于所述加热本体内侧。

10.一种微谐振装置，其特征在于，包括：微谐振结构和加热结构，以及用于承载所述微谐振结构和所述加热结构的基底，所述加热结构沿所述微谐振结构的周向设置在所述微谐振结构周围的所述基底上；所述微谐振结构包括权利要求1-9任一项所述的带有片上温控的微谐振式加速度计。