[发明专利]油墨涂布装置及油墨涂布方法

说明书

本发明提供一种能够缩短油墨涂布时的处理时间的油墨涂布装置。移动机构使涂布对象物和喷墨头中的一个相对于另一个移动，以使针对涂布对象物的油墨的着落点在涂布对象物的表面上移动。控制装置控制喷墨头及移动机构。使涂布对象物和喷墨头中的一个相对于另一个移动的同时使油墨着落在沿着应涂布的区域的边缘的边缘区域，从而在边缘区域形成由油墨构成的边缘部。另外，在形成边缘部之后，使涂布对象物和喷墨头中的一个相对于另一个以比形成边缘部时的移动速度更快的移动速度移动的同时使油墨涂布于被边缘部包围的内部区域。

本申请主张基于2018年5月17日申请的日本专利申请第2018-095507号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种油墨涂布装置及油墨涂布方法。

背景技术

在制造印刷基板时用于蚀刻用掩模的抗蚀剂图案的形成、印刷基板的阻焊剂的形成等中使用喷墨头的油墨涂布技术备受瞩目。在下述专利文献1中公开了如下方法：将应形成薄膜的区域分为实体区域和边缘区域，并且抽取实体区域的像素而提取油墨的着落点。由此，实体区域内的着落点的分布密度变低，但通过加大液滴的体积能够将实体区域的膜形成为所期望的厚度。

专利文献1：国际公开第2013/11775号

抽取实体区域的像素而提取油墨的着落点的方法中，构成图像数据的像素的个数并不会减少。因此，若着眼于喷墨头的所有喷嘴孔而不是一个喷嘴孔，则控制喷墨头的吐出频率并不会下降。因此，难以加快扫描速度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够缩短油墨涂布的处理时间的油墨涂布装置及油墨涂布方法。

根据本发明的一种观点，提供一种油墨涂布装置，其具有：

喷墨头，朝向支承于工作台上的涂布对象物吐出油墨；

移动机构，使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动，以使针对所述涂布对象物的油墨的着落点在所述涂布对象物的表面上移动；及

控制装置，控制所述喷墨头及所述移动机构，

所述控制装置如下控制所述喷墨头及所述移动机构：

使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动的同时使油墨着落于沿着应涂布的区域的边缘的边缘区域，从而在所述边缘区域形成由油墨构成的边缘部，

在形成所述边缘部之后，使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个以比形成所述边缘部时的移动速度更快的移动速度移动的同时使油墨涂布于被所述边缘部包围的内部区域。

根据本发明的另一观点，提供一种油墨涂布方法，其中，

在涂布对象物的表面的、沿着应涂布油墨的区域的边缘的边缘区域中，使油墨的着落点移动的同时使油墨的液滴着落，从而形成由油墨构成的边缘部，

在形成所述边缘部之后，在被所述边缘部包围的内部区域中，使着落点以比形成所述边缘部时的着落点的移动速度更快的移动速度移动的同时使油墨的液滴着落，从而将油墨涂布于所述内部区域。

根据本发明的又一观点，提供一种油墨涂布装置，其具有：

喷墨头，将油墨液滴化后朝向支承于工作台的涂布对象物吐出；

移动机构，使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动，以使针对所述涂布对象物的油墨的着落点在所述涂布对象物的表面上移动；及

控制装置，控制所述喷墨头及所述移动机构，

所述控制装置如下控制所述喷墨头及所述移动机构：