[发明专利]一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置

权利要求书

1.一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述隧道磁阻微陀螺装置包括至少一个键合基板、至少一个微陀螺结构、及至少一个磁阻基板；

所述键合基板的一侧依次层叠设置所述微陀螺结构、及磁阻基板，所述微陀螺结构具有提供恒定的磁场的蛇形通电线圈，所述磁阻基板具有敏感外界磁场变化的隧道磁阻元件，所述蛇形通电线圈与隧道磁阻元件相对设置，并通过隧道磁阻原理进行角速率信号检测。

2.根据权利要求1所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述微陀螺结构包括至少一个支撑框架、至少一个驱动质量块、至少一个检测质量块、至少一个蛇形通电线圈；

所述支撑框架为一个用于支撑驱动质量块、检测质量块的框架体结构，并所述支撑框架位于微陀螺结构最外层，在所述支撑框架内设置所述驱动质量块、及检测质量块，在所述支撑框架上沉积有驱动电极、驱动反馈电极、蛇形通电线圈电极。

3.根据权利要求1所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述支撑框架通过驱动电极与驱动质量块连接；

所述检测质量块设置于微陀螺结构的中心位置，并通过检测组合梁与驱动质量块连接，在所述检测质量块表面上方沉积有蛇形通电线圈。

4.根据权利要求1所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述蛇形通电线圈对应所述检测质量块的位置形成连续回形结构的弯折体，并所述蛇形通电线圈通过蛇形通电线圈电极与支撑框架连接。

5.根据权利要求1所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述键合基板与微陀螺结构通过键合凸点相互连接；

所述微陀螺结构与磁阻基板通过粘接凸点相互连接。

6.根据权利要求1所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述键合基板朝向所述微陀螺结构的一面镶嵌设置有至少两个驱动磁体；

所述驱动磁体包括采用钕铁硼永磁体。

7.根据权利要求2所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述驱动质量块通过驱动组合梁设置于检测质量块与支撑框架之间。

8.根据权利要求2所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述驱动质量块四个边角处分别设置有驱动组合梁，所述驱动组合梁包括第一驱动梁、第二驱动梁、及驱动梁连接块；

所述第一驱动梁、第二驱动梁为梁的长度远大于宽度的细长梁结构，所述第一驱动梁、第二驱动梁分别位于驱动梁连接块两侧并相互平行，连接驱动质量块和驱动梁连接块，驱动梁连接块整体为“T”形结构，连接所述第一驱动梁、第二驱动梁、及支撑框架。

9.根据权利要求2所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述检测质量块四周边角处设置有检测组合梁，所述检测组合梁与驱动质量块连接，所述检测组合梁包括第一检测梁、第二检测梁和检测梁连接块；

所述第一检测梁、第二检测梁为梁的长度远大于宽度的细长梁结构，所述第一检测梁、第二检测梁分别设置于检测梁连接块两侧并相互平行，并连接检测质量块和检测梁连接块；

所述检测梁连接块整体为“T”形结构，连接所述第一检测梁、第二检测梁、及驱动质量块。

10.根据权利要求2所述一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，隧道磁阻元件具有提供输入电压及引出检测信号的若干个引脚。