[发明专利]一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置以及使用方法

权利要求书

1.一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，包括转轴(1)、pp支架(2)和背面刷(3)，其特征在于：所述的pp支架(2)呈圆盘状，该pp支架(2)的下端中部竖直安装有转轴(1)，所述的转轴(1)中空，所述的pp支架(2)上端安装有背面刷(3)，该背面刷(3)包括不锈钢圆盘和聚氨酯耐磨海绵，所述的不锈钢圆盘下端与pp支架(2)固定，该不锈钢圆盘上端安装有相配的聚氨酯耐磨海绵，所述的聚氨酯耐磨海绵呈圆盘状，所述的pp支架(2)以及不锈钢圆盘内部设置有溢流通道，该溢流通道一端与转轴(1)上端的开口处相连，所述的溢流通道另一端与聚氨酯耐磨海绵相连，所述的背面刷(3)的上方一侧设置有机械手(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，其特征在于：所述的聚氨酯耐磨海绵的直径范围在150-350mm之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，其特征在于：所述的聚氨酯耐磨海绵上围绕着圆周布置有若干个长条孔组(4)。

4.根据权利要求3所述的一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，其特征在于：每个长条孔组(4)包括三个均匀布置的长条通孔。

5.根据权利要求4所述的一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，其特征在于：所述的溢流通道包括主流道(7)和分流道(8)，所述的pp支架(2)位于每个长条通孔的下方中部均设置有主流道(7)，该主流道(7)沿着长条通孔长度方向布置，所述的主流道(7)上端均匀竖直布置有若干个分流道(8)，该分流道(8)的上端连通长条通孔，所述的主流道(7)一端封住，另一端与转轴(1)上端的开口处相连通。

6.根据权利要求1所述的一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，其特征在于：所述的pp支架(2)与转轴(1)之间通过螺钉固定。

7.根据权利要求1所述的一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，其特征在于：所述的聚氨酯耐磨海绵与不锈钢圆盘之间通过胶水固定。

8.根据权利要求1所述的一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，其特征在于：所述的机械手(5)上安装有吸盘。

9.一种使用如权利要求1所述的一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置的使用方法，具体的操作步骤如下：

(a)机械手(5)通过吸盘吸附硅片(6)正面，硅片(6)背面与聚氨酯耐磨海绵接触并下压1-5mm；

(b)然后缓慢通过旋转的聚氨酯耐磨海绵，刷洗掉减薄后残留在硅片(6)背面边缘圈印状的划伤和沾污，在洗刷过程中，转轴(1)内部由下往上不断往聚氨酯耐磨海绵注入清洗的水源，清水依次流过主流道(7)和分流道(8)最后流到长条通孔内被聚氨酯耐磨海绵吸收。