[发明专利]一种FOUP开启器

说明书

本发明公开了一种FOUP开启器，包括横板，所述横板的侧壁上开设有两个放置槽，每个所述放置槽内均设有握把，且每个握把均延伸至横板的外侧，每个所述握把内均开设于凹槽，每个所述凹槽内均转动连接有钥匙，每个所述握把内均还开设有控制槽，每个所述控制槽内均设有控制装置，且每个控制装置均相对应的钥匙相互匹配，所述横板内对称开设有两个线槽，每个所述握把的侧壁上均固定连接有连接块，且两个连接块相对设置，每个所述线槽内均设有绕线装置，每个所述绕线装置均通过连接线与连接块连接。优点在于：本发明，用来开启FOUP的钥匙相互连接在一起，不会轻易的脱离而丢失，在使用的时候，操作的人员可以更加方便的对钥匙进行操作使用。

技术领域

本发明涉及半导体行业wafer加工技术领域，尤其涉及一种FOUP开启器。

背景技术

前开式晶圆传送盒FOUP。这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭，是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。

FOUP在使用的时候需要开启器对其进行打开与关闭，由于开启器提及较小，在使用时不能方便的进行使用，而且容易造成丢失，使得FOUP不能进行打开与关闭。

为此，我们提出一种FOUP开启器。

实用新型内容

本发明的目的是为了解决现有技术中FOUP在使用的时候需要开启器对其进行打开与关闭，由于开启器提及较小，在使用时不能方便的进行使用，而且容易造成丢失，使得FOUP不能进行打开与关闭问题，而提出的一种FOUP开启器。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种FOUP开启器，包括横板，所述横板的侧壁上开设有两个放置槽，每个所述放置槽内均设有握把，且每个握把均延伸至横板的外侧，每个所述握把内均开设于凹槽，每个所述凹槽内均转动连接有钥匙，每个所述握把内均还开设有控制槽，每个所述控制槽内均设有控制装置，且每个控制装置均相对应的钥匙相互匹配，所述横板内对称开设有两个线槽，每个所述握把的侧壁上均固定连接有连接块，且两个连接块相对设置，每个所述线槽内均设有绕线装置，每个所述绕线装置均通过连接线与连接块连接；

每个所述控制装置包括控制槽内设置的压板，每个所述控制槽均通过连接槽与相对应的凹槽连通，每个所述连接槽内均转动连接有连接有连接杆，且压板固定在连接杆上，位于控制槽内的所述压板上端对称固定连接有两个第一弹簧，且两个第一弹簧的上端均固定在控制槽内顶壁上，位于凹槽内的所述压板下端固定连接有卡板，且卡板位于钥匙的一侧；所述凹槽内转动连接有驱动杆，且钥匙套设在驱动杆上并与驱动杆固定连接于，所述驱动杆上对称套设有两个第二弹簧，所述驱动杆上还对称固定套设有两个安装板，且两个第二弹簧的一端分别固定在相对应的安装板上，两个所述第二弹簧的另一端均固定在凹槽的内侧壁上；每个所述绕线装置包括每个线槽内转动连接的转轴，每个所述转轴上均固定套设有线轮，且每个连接线分别缠绕在相对应的线轮上，每个所述转轴上均对称套设有第三弹簧，且每个转轴上的两个第三弹簧分别设置在相对应的线轮两端，每个所述第三弹簧的一端分别固定在相对应的线轮上，且每个第三弹簧的另一端均固定在相对应的线槽内侧壁上；每个所述压板的上端均固定连接有推杆，每个所述握把上均开设有通孔，且每个推杆分别位于通过相对应的通孔后并延伸至握把的外侧；每个所述放置槽的内侧壁上均对称固定连接有两个橡胶块，每个所述握把位于放置槽内的一端侧壁上均对称开设有两个卡槽，且每个橡胶块分别位于相对应的卡槽内并与卡槽卡合；每个所述握把的侧壁上均开设有条形槽，且每个条形槽均与相对应的凹槽连通，每个所述钥匙的侧壁上均固定连接有推块，且每个推块均位于相对应的条形槽内。

与现有的技术相比，本发明优点在于：