[发明专利]一种有效降低激光切割损失的高效光伏电池制作方法

权利要求书

1.一种有效降低激光切割损失的高效光伏电池制作方法，包括以下步骤：硅片表面制绒-扩散-刻蚀-背钝化-背面镀膜-正面镀膜-丝网印刷-测试分选，其特征在于：所述硅片在表面制绒步骤前，使用第一激光在硅片背面切割痕位置划出切割线；在硅片上划出切割线后再进行制绒处理，在制绒过程中由于氢氧化钠/氢氧化钾的各项异性腐蚀，会对第一激光切割出来的切割线位置进行修饰，消除制绒前激光带来的应力及其他粉尘。

2.根据权利要求1所述的一种有效降低激光切割损失的高效光伏电池制作方法，其特征在于：所述切割线深度为10-30μm。

3.根据权利要求1所述的一种有效降低激光切割损失的高效光伏电池制作方法，其特征在于：所述第一激光为小光斑、短波长、低功率的激光。

4.根据权利要求3所述的一种有效降低激光切割损失的高效光伏电池制作方法，其特征在于：所述第一激光的功率为5-20W。

5.根据权利要求3所述的一种有效降低激光切割损失的高效光伏电池制作方法，其特征在于：所述第一激光的波长为200-800nm。

6.根据权利要求3所述的一种有效降低激光切割损失的高效光伏电池制作方法，其特征在于：所述第一激光的光斑大小为20-60μm。

7.根据权利要求1所述的一种有效降低激光切割损失的高效光伏电池制作方法，其特征在于，所述硅片在经过刻蚀后，进行退火处理。