[发明专利]油墨去除装置、油墨吐出装置及油墨去除方法

说明书

本发明提供一种能够去除附着于喷墨头的吐出面的油墨的油墨去除装置。按压单元支承具有吸收油墨的性质的吸液部件。驱动机构向从设置于吐出面的多个喷嘴孔吐出经液滴化油墨的喷墨头的吐出面按压吸液部件。

本申请主张基于2018年5月17日申请的日本专利申请第2018-095506号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种油墨去除装置、油墨吐出装置及油墨去除方法。

背景技术

从喷墨头将油墨进行液滴化后吐出从而形成具有所希望的图案的膜(例如，蚀刻用抗蚀剂膜、阻焊膜等)的技术受到关注。为了形成高精细的图案，在喷墨头高密度地配置有多个喷嘴孔。若不吐出油墨的状态持续，则喷嘴孔内的油墨的粘度会变高，油墨的吐出有时会产生不良情况。已知有一种装置，其用盖部件盖住设置有喷嘴孔的面(吐出面)，并使由吐出面与盖部件形成的空间成为负压，由此对喷嘴孔内进行抽吸以恢复喷嘴孔的不良情况(专利文献1)。

专利文献1：日本特开2014-19018号公报

若从喷墨头连续吐出油墨，则油墨有时会附着在喷墨头的吐出面。若附着于吐出面的油墨滴落到涂布对象物上，则会导致产生制造不良。只通过用盖部件盖住吐出面并将两者之间的空间设为负压，很难去除附着于吐出面的油墨。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够去除附着于吐出面的油墨的油墨去除装置。本发明的另一目的在于提供一种搭载有该油墨去除装置的油墨吐出装置及油墨去除方法。

根据本发明的一种观点，提供一种油墨去除装置，其具有：

按压单元，支承具有吸收油墨的性质的吸液部件；及

驱动机构，向从设置于吐出面的多个喷嘴孔吐出经液滴化的油墨的喷墨头的所述吐出面按压所述吸液部件。

根据本发明的另一观点，提供一种油墨吐出装置，其具有：

喷墨头，从设置于吐出面的多个喷嘴孔吐出经液滴化的油墨；

循环系统，其与所述喷墨头一同构成循环路径，并且使油墨或清洗液在所述循环路径中循环；

油墨去除装置，向所述吐出面按压具有吸收油墨的性质的吸液部件，并且无需使所述吸液部件相对于所述吐出面沿面内方向移动即可使所述吸液部件从所述吐出面分离开；及

控制装置，控制所述喷墨头、所述循环系统及所述油墨去除装置，

所述控制装置具有如下功能：在将所述吸液部件按压到所述吐出面的状态下使油墨或清洗液在所述循环路径中循环。

根据本发明的又一观点，提供一种油墨去除方法，其中，

向从设置于吐出面的多个喷嘴孔吐出经液滴化的油墨的喷墨头的所述吐出面按压具有吸收油墨的性质的吸液部件，从而去除附着于所述吐出面的油墨，

无需使所述吸液部件相对于所述吐出面沿面内方向移动即可使所述吸液部件从所述吐出面分离。

通过向吐出面按压吸液部件，能够使吸液部件吸收附着于吐出面的油墨，从而能够从吐出面去除油墨。由于吸液部件相对于吐出面不会沿面内方向移动，因此能够防止吸液部件与吐出面摩擦而导致喷墨头受损。

附图说明

图1A为基于实施例的油墨吐出装置的概略图，图1B为基于实施例的油墨吐出装置的工作台的俯视图。

图2A为表示基于实施例的油墨去除装置的一部分的主视图，图2B为表示喷墨头的吐出面、吸液部件及按压单元在俯视观察时的位置关系的图。

图3为表示包括按压单元及抽吸装置的抽吸机构的结构的概略图。