[发明专利]一种适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置

权利要求书

1.一种适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置，至少包括底座和夹持组件，其特征在于：底座上设置有上下层叠布局的上拖板和下拖板，底座、上拖板和下拖板三者均为中空结构，所述下拖板通过两根Y向直线导轨安装于底座上并能够沿Y向滑动，下拖板和底座之间还设置有Y向滚动丝杆组件，Y向滚动丝杆组件通过螺母座与下拖板连接，Y向电机安装于底座上并且与Y向滚动丝杆组件连接；所述上拖板通过两根X向直线导轨安装于下拖板上并能够沿X向滑动，上拖板和下拖板之间还设置有X向滚动丝杆组件，X向滚动丝杆组件通过螺母座与上拖板连接，X向电机安装于下拖板上并且与X向滚动丝杆组件连接；Y向电机驱动Y向滚动丝杆组件转动并进一步驱动下拖板连同上拖板沿着Y向直线导轨滑动，X向电机驱动X向滚动丝杆组件转动并进一步驱动上拖板沿着X向直线导轨滑动；夹持组件安装于上拖板中，所述夹持组件包括托板、撑紧圈以及压板，撑紧圈连接于上拖板上，压板固定于托板上，所述托板与上拖板之间设置有导向导轨和气缸，托板在气缸的驱动下沿着导向导轨在竖直方向上下移动；

所述下拖板的前侧面设置有T型槽，T型槽的两端分别设置有用于限位的X向传感器组件，T型槽的中部设置有用于定位的X向传感器组件，上拖板的前侧面设置有与X向传感器组件对应的X向传感器挡片，所述X向传感器挡片与上拖板一起相对于下拖板在T型槽内向X向运动；

所述底座的前侧面设置有T型槽，T型槽的两端分别设置有用于限位的Y向传感器组件，T型槽的中部设置有用于定位的Y向传感器组件，下拖板的右侧面设置有与Y向传感器组件对应的Y向传感器挡片，所述Y向传感器挡片与下拖板一起相对于底座在T型槽内向Y向运动。

2.根据权利要求1所述的适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置，其特征在于：所述导向导轨中的滑块通过滑块连接板与托板固定连接，导向导轨中的导轨条通过滑块固定板与上拖板固定连接。

3.根据权利要求1所述的适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置，其特征在于：所述气缸中的缸体通过固定板与上拖板固定连接，气缸中的活塞杆通过螺钉与托板固定连接。