[发明专利]复合柔性碳纳米管薄膜、柔性压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种复合柔性碳纳米管薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一定量的碳纳米管形成均匀分散的碳纳米分散液；

将碳纳米分散液均匀分散在复合材料上；

制备出复合柔性碳纳米管薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，配取一定量的经过酸化处理的碳纳米管于烧杯中；再拿取一定量的表面高分子活性剂于烧杯中；加入一定量的水作为分散剂；将上述溶液置于超声波清洗机中t₁时间；得到一定浓度的均匀分散的碳纳米管分散液；其中，t₁为15～60min。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，用胶头滴管将均匀分散好的碳纳米管分散液滴涂到柔性基底上。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，将滴涂有碳纳米分散液的柔性基底放置到温度为T的烘干台上，放置t₂时间后，取下制备好的复合柔性碳纳米管薄膜，其中，T为60～100℃，t₂为10～40min。

5.根据权利要求2至4任一项所述的制备方法，其特征在于，所述表面高分子活性剂为聚乙烯吡咯烷酮。

6.根据权利要求3或4所述的制备方法，其特征在于，所述柔性基底包括纸、无尘纸、无尘布或丝绸等由纤维组成的物质。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的取一定量的表面高分子活性剂的质量为所取的酸化的碳纳米管质量的5％～30％。

8.采用如权利要求1至7任一项所述的制备方法制备出复合柔性碳纳米管薄膜。

9.一种柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

制备叉指电极；

采用如权利要求8所述的复合柔性碳纳米管薄膜进行封装；

获得柔性压力传感器。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，将高分子聚合物薄膜在丙酮、乙醇和去离子水中依次超声清洗；把高分子聚合物薄膜上放在匀胶机上制备一层光刻胶薄膜，光刻制备出具有叉指结构的薄膜；将上述薄膜放置在金属真空溅射机内溅射；再放置在丙酮中清洗；得到叉指电极。

11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述高分子聚合物薄膜包括聚酰亚胺、聚对苯二甲酸类塑料或聚二甲基硅氧烷等。

12.根据权利要求9或10或11所述的制备方法，其特征在于，将高分子保护层至于复合柔性碳纳米管薄膜上，然后再置于叉指电极上。

13.根据权利要求9或10或11所述的制备方法，其特征在于，所述叉指电极的金属厚度为100nm～2μm，所述叉指电极的长为0.3～5cm，宽为0.3～5cm，叉指的指宽和指间距为0.05～5mm。

14.采用如权利要求9至13任一项所述的制备方法获得柔性压力传感器。