[发明专利]一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统

说明书

本发明公开一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统，包括由内向外依次套设于铂金通道的坩埚、微波加热腔体与固定支撑钢套，所述坩埚、微波加热腔体与固定支撑钢套均沿铂金通道轴向设置；坩埚与铂金通道之间设有填充层，固定支撑钢套与微波加热腔体之间设有保温层；微波加热腔体外周沿径向间隔设有三个微波发生器，三个微波发生器构成一个微波加热组，微波加热腔体外周沿轴向设有两个以上的微波加热组；还包括PLC与若干微波控制器，微波控制器与微波发生器一一对应连接，PLC输出接口分别连接各个微波控制器；本加热系统能够均衡地对铂金通道进行加热，加热速度快、能耗低，便于设置，易于调整。

技术领域

本发明涉及玻璃制造技术领域，具体是一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统。

背景技术

在TFT-LCD、LTPS等电子显示玻璃基板制造过程中，配合料在窑炉内高温熔融后，进入耐高温耐腐蚀的铂金通道完成澄清、均化等工艺处理，形成缺陷数量极少的玻璃液供成型拉制玻璃基板用。

这个过程中，铂金通道需要加热到一定的温度，以满足工艺要求。在生产中最常见的是直接引流加热铂金通道，利用法兰结构将电流直接导向铂金通道本体，电流流经有一定内阻的铂金通道产生热量，进而加热铂金通道。

这种加热方式在生产中发现的问题有：一、加热法兰结构需要精密的尺寸以保证均流层对电流的平均分配；二、加热电流在法兰结构与铂金通道的连接处集中，造成局部电流密度大，易烧蚀铂金通道；三、加热回路存在烧断的情况，且无法进行修复、更换；四、某回路烧断后，只能通过增加前、后回路的电流/功率进行热量补偿，限制工艺调整空间，同时增加了增加前、后回路的烧断几率；五、加热速度较慢，能耗高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统，该加热系统能够均衡地对铂金通道进行加热，加热速度快、能耗低，便于设置，易于调整。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统，包括由内向外依次套设于铂金通道的坩埚、微波加热腔体与固定支撑钢套，所述坩埚、微波加热腔体与固定支撑钢套均沿铂金通道轴向设置；坩埚与铂金通道之间设有填充层，固定支撑钢套与微波加热腔体之间设有保温层；微波加热腔体外周沿径向间隔设有三个微波发生器，三个微波发生器构成一个微波加热组，微波加热腔体外周沿轴向设有两个以上的微波加热组；

所述微波加热系统还包括PLC与若干微波控制器，微波控制器与微波发生器一一对应连接，PLC输出接口分别连接各个微波控制器；

所述填充层为可吸收微波的无机非金属材料。

进一步的，所述微波加热腔体两侧分别设有能够抑制微波外泄的抑波板。

进一步的，所述微波加热系统还包括用于输入加热参数的上位机，上位机与PLC通讯连接。

本发明的有益效果是：

一、本发明采用微波加热，与尺寸精密的加热法兰结构铂金通道相比，对尺寸的精密度要求低。

二、避免了烧蚀现象，同时也使铂金通道加热温度更加均衡。

三、某个微波发生器故障时，可及时切断该组电源进行更换，更换后可迅速恢复工作，对生产影响小。

四、微波的发生频段广，工艺调整范围大。

五、微波加热速度快，能耗低。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1的A-A剖视图；