[发明专利]一种增强空间分辨的表面光电压光谱的检测方法

权利要求书

1.一种增强空间分辨的表面光电压的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)待测导电样品预先进行清洁处理，干燥后备用；打开激发光源，校准入射光路；

(2)启动开尔文力显微镜，将导电探针安装到开尔文力显微镜，调整激光位置并调制探针振动频率；开启锁相放大器并调节斩波频率；

(3)将待测样品固定到样品托上，然后将镀有特定金属的导电探针靠近测量样品，调节扫描参数，记录样品表面形貌和表面电势值；

(4)选取样品表面某一特定位置，调节入射波长来激发样品和导电探针金属表面等离子体共振，开启斩波器，测量在斩波光下电势值，并将此值输出到锁相放大器，锁相放大器根据斩波频率来提取样品用该导电探针测量的增强的表面光电压信号；

(5)通过软件读取样品在空间某位置的增强的表面光电压的大小和相位值。

2.如权利要求1所述的一种增强空间分辨的表面光电压的检测方法，其特征在于，导电探针表面蒸镀了具有表面等离子体共振效应的金属，包括金属金、银、铜和铝；导电探针金属镀层厚度为5-80nm，曲率半径为20-100nm。

3.如权利要求1所述的一种增强空间分辨的表面光电压的检测方法，其特征在于，表面形貌和表面光电压信号测量是在激发探针表面等离子体共振时通过表面等离子金属镀层导电探针实现。

4.如权利要求1所述的一种增强空间分辨的表面光电压的检测方法，其特征在于增强的表面光电压信号通过开尔文力显微镜测量。