[发明专利]一种真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法在审
申请号: | 201910329777.5 | 申请日: | 2019-04-23 |
公开(公告)号: | CN110029306A | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
发明(设计)人: | 李颖;杨国文;赵卫东;张艳春;沈佳铌 | 申请(专利权)人: | 度亘激光技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/10;C23C14/24 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 朱静谦 |
地址: | 215125 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铝合金构件 氧化物介质膜 清洗 真空镀膜机 腔体 沙粒 清洁技术领域 真空镀膜设备 高压水冲洗 表面积累 表面真空 干燥设备 喷砂处理 嵌入构件 保护层 碱处理 酸处理 脱落物 镀膜 附着 蒸镀 装入 溶解 残留 中和 抵抗 | ||
1.一种真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1:对所述铝合金构件进行喷砂处理;
步骤S2:用高压水冲洗所述铝合金构件表面;
步骤S3:对所述铝合金构件进行碱处理;
步骤S4:对所述铝合金构件进行酸处理;
步骤S5:清洗所述铝合金构件;
步骤S6:将所述铝合金构件装入干燥设备中进行干燥;
步骤S7:在铝合金构件表面真空蒸镀保护层。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S5包括:
步骤S51:用70℃-80℃热水冲洗所述铝合金构件10-20min;
步骤S52:用去离子水清洗所述铝合金构件10-20min;
步骤S53:用无尘布蘸酒精擦拭所述铝合金构件10-20min。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S1中,喷砂用沙粒为80目以上的SiO2,压力3-4公斤;所述沙粒以与所述铝合金构件的表面呈30°-45°倾角的方向喷射,直至所述铝合金构件表面的膜层完全去除。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S2中,所述高压水的压力为3-4公斤,冲洗时间为20min。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S3中,对所述铝合金构件进行碱处理过程为:以浓度为1-1.5mol/L的氢氧化钠溶液60℃-80℃处理2-10min。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S4中,对所述铝合金构件进行酸处理过程为:以浓度为0.1-0.2mol/L稀盐酸溶液60℃-80℃处理2-10min。
7.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S6中,进行干燥的条件为150℃干燥20-40min。
8.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S7中,真空蒸镀的所述保护层为500-1000微米厚的SiO2层。
9.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,在步骤S7之前还包括,在铝合金构件表面电镀中间层。
10.根据权利要求9所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述中间层为铬层,其厚度为200-500微米。
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