[发明专利]一种真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法在审

专利信息
申请号: 201910329777.5 申请日: 2019-04-23
公开(公告)号: CN110029306A 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 李颖;杨国文;赵卫东;张艳春;沈佳铌 申请(专利权)人: 度亘激光技术(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02;C23C14/10;C23C14/24
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 朱静谦
地址: 215125 江苏省苏州市工业园*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 铝合金构件 氧化物介质膜 清洗 真空镀膜机 腔体 沙粒 清洁技术领域 真空镀膜设备 高压水冲洗 表面积累 表面真空 干燥设备 喷砂处理 嵌入构件 保护层 碱处理 酸处理 脱落物 镀膜 附着 蒸镀 装入 溶解 残留 中和 抵抗
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤S1:对所述铝合金构件进行喷砂处理;

步骤S2:用高压水冲洗所述铝合金构件表面;

步骤S3:对所述铝合金构件进行碱处理;

步骤S4:对所述铝合金构件进行酸处理;

步骤S5:清洗所述铝合金构件;

步骤S6:将所述铝合金构件装入干燥设备中进行干燥;

步骤S7:在铝合金构件表面真空蒸镀保护层。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S5包括:

步骤S51:用70℃-80℃热水冲洗所述铝合金构件10-20min;

步骤S52:用去离子水清洗所述铝合金构件10-20min;

步骤S53:用无尘布蘸酒精擦拭所述铝合金构件10-20min。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S1中,喷砂用沙粒为80目以上的SiO2,压力3-4公斤;所述沙粒以与所述铝合金构件的表面呈30°-45°倾角的方向喷射,直至所述铝合金构件表面的膜层完全去除。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S2中,所述高压水的压力为3-4公斤,冲洗时间为20min。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S3中,对所述铝合金构件进行碱处理过程为:以浓度为1-1.5mol/L的氢氧化钠溶液60℃-80℃处理2-10min。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S4中,对所述铝合金构件进行酸处理过程为:以浓度为0.1-0.2mol/L稀盐酸溶液60℃-80℃处理2-10min。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S6中,进行干燥的条件为150℃干燥20-40min。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述步骤S7中,真空蒸镀的所述保护层为500-1000微米厚的SiO2层。

9.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,在步骤S7之前还包括,在铝合金构件表面电镀中间层。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法,其特征在于,所述中间层为铬层,其厚度为200-500微米。

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