[发明专利]一种玻璃衬底异质结太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种玻璃衬底异质结太阳能电池，包括从下到上依次连接的玻璃衬底(1)、透明导电氧化物层(2)、空穴选择层(3)、本征非晶硅层(4)和n型掺杂非晶硅层(5)，其特征在于，空穴选择层(3)为氧化钼薄膜，透明导电氧化物层(2)包括掺钼氧化铟、掺钛氧化铟、掺钨氧化铟中的任一种。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃衬底异质结太阳能电池，其特征在于，透明导电氧化物层(2)顶面还设置有金属栅线正极层(7)，金属栅线正极层(7)的厚度为240nm，n型掺杂非晶硅层(5)顶面设置有金属栅线负极层(6)，金属栅线负极层(6)的厚度为50nm。

3.根据权利要求2所述的一种玻璃衬底异质结太阳能电池，其特征在于，金属栅线正极层(7)和金属栅线负极层(6)的材质均为Cu、Cu合金、Ag、Ag合金中的任一种，Cu合金为Cu与Mo、W、Ti、Ni、Al、Mg、Ta、Sn、Ag中的任一种所形成的合金。

4.根据权利要求1所述的一种玻璃衬底异质结太阳能电池，其特征在于，透明导电氧化物层(2)的厚度为50-120nm。

5.根据权利要求1或4所述的一种玻璃衬底异质结太阳能电池，其特征在于，空穴选择层(3)的厚度为80-150nm。

6.根据权利要求1所述的一种玻璃衬底异质结太阳能电池，其特征在于，本征非晶硅层(4)的厚度为5-10nm。

7.根据权利要求1所述的一种玻璃衬底异质结太阳能电池，其特征在于，n型掺杂非晶硅层(5)的厚度为30-100nm。

8.根据权利要求1所述的一种玻璃衬底异质结太阳能电池，其特征在于，玻璃衬底(1)的透光率90％-95％，玻璃衬底(1)的厚度为3mm-5mm。

9.根据权利要求1至8中任一权利要求所述的一种玻璃衬底异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：选用一块透光率为90％-95％的玻璃衬底(1)，对玻璃衬底(1)表面用乙醇进行清洗，使用氮气吹干；

S2：在玻璃衬底(1)的上表面，使用磁控溅射镀膜机制备透明导电氧化物层(2)；

S3：在透明导电氧化物层(2)上表面，使用一块掩模板空余出用于制备金属栅线正极层(7)的位置，然后使用磁控溅射镀膜机在透明导电氧化物层(2)上表面制备空穴选择层(3)，磁控溅射的气体为氧气，氧气纯度规格99.9％；

S4：在空穴选择层(3)上再用一块掩模板遮挡，在空穴选择层(3)上表面通过等离子体增强化学气相沉积制备出本征非晶硅层(4)，使用的气体为硅烷；

S5：在本征非晶硅层(4)上再用一块掩模板遮挡，在本征非晶硅层(4)上表面使用等离子体增强化学气相沉积制备出n型掺杂非晶硅层(5)，使用的气体为三氢化磷和硅烷；

S6：在n型掺杂非晶硅层(5)上再用一块掩模板遮挡，在n型掺杂非晶硅层(5)上表面使用真空镀膜机制备出金属栅线负极层(6)，最后在透明导电氧化物层(2)上表面的空余位置使用真空镀膜机制备出金属栅线正极层(7)。