[发明专利]等离子体处理装置和电源控制方法

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：

载置台，其载置作为等离子体处理的对象的被处理体，并作为下部电极发挥作用；

直流电源，其交替地产生施加到所述载置台的正直流电压和负直流电压；

测量载置于所述载置台的被处理体的电压的测量部；

计算部，其基于所述测量出的被处理体的电压，计算对所述载置台施加负直流电压的期间的、所述载置台与所述被处理体之间的电位差；和

电源控制部，其控制所述直流电源，以使得施加到所述载置台的负直流电压的值变化使所述计算出的电位差减少的变化量。

2.如权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述电源控制部控制所述直流电源，以使得一边维持施加到所述载置台的正直流电压和负直流电压的绝对值的总和，一边变化施加到所述载置台的负直流电压的值。

3.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

在所述载置台与所述被处理体之间的电位差比规定的阈值小的情况下，所述电源控制部控制所述直流电源，以使得对所述载置台施加负直流电压的时间相对于对所述载置台施加正直流电压和负直流电压的1个周期的时间的比例被改变。

4.如权利要求1～3中任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于：

在所述载置台与所述被处理体之间的电位差比规定的阈值小的情况下，所述电源控制部控制所述直流电源，以使得施加到所述载置台的正直流电压和负直流电压的绝对值的总和被改变。

5.如权利要求1～4中任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于：

在所述载置台与所述被处理体之间的电位差比规定的阈值小的情况下，所述电源控制部控制所述直流电源，以使得施加到所述载置台的正直流电压和负直流电压的频率被改变。

6.如权利要求1～5中任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于：

还包括获取部，其用于获取要施加到所述载置台的正直流电压和负直流电压的绝对值的总和，

所述直流电源对所述载置台交替地施加正直流电压和负直流电压，该正直流电压和负直流电压具有作为初始值的、将所述获取的绝对值的总和以预先设定的比例分配而得的正直流电压的绝对值和负直流电压的绝对值。

7.如权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述计算部基于所述测量出的被处理体的电压，计算：对所述载置台施加负直流电压的期间的、所述载置台与所述被处理体之间的第一电位差；和对所述载置台施加正直流电压的期间的、所述载置台与所述被处理体之间的第二电位差，

所述电源控制部控制所述直流电源，以使得施加到所述载置台的负直流电压的值变化使所述计算出的第一电位差和第二电位差这两者减少的变化量。

8.如权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，还包括：

存储电压测量值表的存储部，其中所述电压测量值表将要施加到所述载置台的正直流电压和负直流电压的绝对值的总和，与在对所述载置台施加负直流电压的期间预先测量出的所述被处理体的电压的测量值逐一相关联地存储；和

获取部，其获取要施加到所述载置台的正直流电压和负直流电压的绝对值的总和，

所述测量部参照所述电压测量值表，测量与所述获取的绝对值的总和对应的测量值并将其作为所述被处理体的电压。

9.一种电源控制方法，其特征在于：

计算机执行下述处理：

测量载置于载置台的被处理体的电压，其中所述载置台载置作为等离子体处理的对象的被处理体，从直流电源对其交替地施加正直流电压和负直流电压，并作为下部电极发挥作用，

基于所述测量出的被处理体的电压，计算对所述载置台施加负直流电压的期间的、所述载置台与所述被处理体之间的电位差，

控制所述直流电源，以使得施加到所述载置台的负直流电压的值变化使所述计算出的电位差减少的变化量。