[发明专利]一种含氢废气中氯硅烷的回收方法在审
| 申请号： | 201910336887.4 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110280098A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 陈洪建 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;张小勇 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自治区石*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氯硅烷 含氢废气 回收 活性炭吸附塔 减压 吸附 加压 活性炭吸附柱 树脂吸附塔 液态氯硅烷 活性炭 氮气 再生 回收利用 加压过程 降温冷凝 冷却降温 气液分离 树脂吸附 吸附饱和 吸附浓缩 微量氯 除杂 吹扫 硅烷 加热 返回 排放 | ||
1.一种含氢废气中氯硅烷的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)收集各单元排放的含氢废气后，加压、降温，再采用活性炭吸附塔对氯硅烷进行吸附；
(2)活性炭吸附塔氯硅烷吸附饱和后，对活性炭吸附柱加热、减压，由顶部通入氮气进行吹扫，将吸附在活性炭氯硅烷再生出来；
(3)再生出来的氯硅烷降温冷凝到-40℃后，进行气液分离，气相氯硅烷经升温后，返回到步骤(1)的加压过程；
(4)分离出来的液态氯硅烷采用树脂吸附塔除杂后，可并入系统使用。
2.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步骤(1)中，采用氢气压缩机加压到0.3-0.5MPa。
3.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步骤(1)中，采用乙二醇降温至5-10℃。
4.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步骤(1)中，活性炭吸附塔对氯硅烷进行吸附，剩余的氮气、氢气混合物送三废工段统一高点放空。
5.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步骤(2)中，当活性炭吸附塔吸附到一定时间后，吸附能力下降，必须切换另一个塔吸附。
6.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步骤(2)中，用热水给活性炭吸附柱加热、减压。
7.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步骤(3)中，再生出来的氯硅烷，经循环水换热器、自身换热器、氟利昂换热器降温冷凝到-40℃。
8.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步骤(4)中，采用树脂吸附塔除杂的具体操作步骤为：将液态氯硅烷用屏蔽泵加压，从树脂吸附塔底部进入，从顶部出来，经过滤器拦截树脂后进入物料缓冲罐储存。
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