[发明专利]干涉信号的相位校正方法在审
| 申请号： | 201910337335.5 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110411368A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 小野田有吾;佐藤荣广;长谷川晶一;柳川香织;石桥清隆 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干涉信号 相位校正 相位偏移 周期函数 采样点 测定对象物 物理现象 采样 计测 光源 校正 照射 | ||
1.一种干涉信号的相位校正方法，其中，
对测定对象物照射测定介质，取得具有周期函数的干涉信号，
针对所述干涉信号，在多个采样点进行采样，
求出各采样点的相位偏移，根据该相位偏移进行所述干涉信号的相位校正。
2.根据权利要求1所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
对干涉信号的周期函数即作为三角函数的测定对象函数乘以相位调制用的相位调制函数，
根据将从乘法结果导出的值作为输入的相位计算函数即ArcSin的值，求出各采样点的相位偏移。
3.根据权利要求1或2所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
根据与所述周期函数的n个周期相当的n*2*π的区间中的各采样点的相位偏移的平均值，求出最终的相位偏移，其中，n为正整数。
4.根据权利要求1所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
所述测定介质是从光源照射的具有任意的相干长度的光。
5.根据权利要求4所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
在所述相干长度有限的情况下，根据与周期函数的1个周期相当的-π～+π的区间中的各采样点的相位偏移的平均值，求出最终的相位偏移。
6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
求出偶数个采样点的相位偏移的平均值，从而求出最终的相位偏移。
7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
在与照射所述测定介质的方向垂直的XY面内，求出构成各采样点的相位偏移的、基于采样定时的偏移而引起的相位偏移和基于所述测定对象物的复折射率而引起的相位偏移。
8.根据权利要求7所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
在所述XY面内的特定区域中求出各采样点的相位偏移的平均值，由此求出该特定区域的复折射率。
9.根据权利要求8所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
所述特定区域是与周期函数的1个周期的整数倍的区域相当的n*2*π的区间区域，其中，n为正整数。
10.根据权利要求9所述的干涉信号的相位校正方法，其中，
根据所述特定区域中的偶数个采样点的相位偏移的平均值来求出所述特定区域的复折射率。
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