[发明专利]控制方法及真空系统

说明书

本发明公开了一种控制方法及真空系统。真空系统包括抽气模块、控制模块以及感测模块，且抽气模块连接于腔体。控制方法包括控制模块驱动抽气模块以第一定转速对腔体进行抽气，感测模块侦测腔体的第一压力值，并将第一压力值传递至控制模块，控制模块判断第一压力值是否大于预定压力值，当第一压力值大于预定压力值时，控制模块控制抽气模块维持第一定转速；当第一压力值小于预定压力值时，控制模块驱动抽气模块以可变转速对腔体进行抽气，感测模块侦测腔体的第二压力值，并将第二压力值传递至控制模块，以及控制模块根据第二压力值调整可变转速。

技术领域

本发明涉及一种控制方法及真空系统，特别是关于一种可调整抽气功率的控制方法及真空系统。

背景技术

真空度的控制是工业以及实验室中经常面临的课题之一。一般而言，真空系统包括抽气模块以及腔体，抽气模块对腔体进行抽气，将腔体内部的气体排放至腔体外部以达到提高腔体内部真空度的效果。然而，当腔体内部的真空度达到预定目标时，抽气模块若维持相同的抽气功率运转，容易造成无谓的能量耗费。

发明内容

因此，本发明提供一种控制方法，其能调整抽气模块的抽气功率，避免真空系统的能量耗费。

为解决上述问题，本发明公开一种控制方法，适用于真空系统。真空系统包括抽气模块、控制模块以及感测模块，抽气模块、控制模块以及感测模块彼此电性连接，且抽气模块连接于腔体。控制方法包括控制模块驱动抽气模块以第一定转速对腔体进行抽气；感测模块侦测腔体的第一压力值，并将第一压力值传递至控制模块；控制模块判断第一压力值是否大于一预定压力值。当第一压力值大于预定压力值时，控制模块控制该抽气模块维持第一定转速；当第一压力值小于等于预定压力值时，控制模块驱动抽气模块以可变转速对腔体进行抽气；感测模块侦测腔体的第二压力值，并将第二压力值传递至控制模块，以及控制模块根据该第二压力值调整可变转速。

此外，本发明还公开一种真空系统，所述真空系统应用上述控制方法，以调整抽气模块的抽气功率，避免能量耗费。

有关本发明前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图及实施例的详细说明中，将可清楚地呈现。

附图说明

图1为本发明的一实施例的控制方法的步骤流程图。

图2是使用第1图的控制方法的真空系统的方块图。

其中，附图标记说明如下：

10 真空系统

100 抽气模块

110 帮浦

112 马达

120 抽气管线

200 控制模块

210 比例-积分-微分控制器

220 交流变频控制器

300 感测模块

310 电子式真空计

400 腔体