[发明专利]一种力反馈闭环控制复合键合装置

权利要求书

1.一种力反馈闭环控制复合键合装置，其特征在于，包括宏动装置(1)和微动装置(2)，所述微动装置(2)装配在所述宏动装置(1)上，所述微动装置(2)由所述宏动装置(1)带动横向平移与竖向平移；

所述微动装置(2)包括通过调节施加电压控制伸缩的超磁致伸缩致动器(21)，所述超磁致伸缩致动器(21)通过改变自身的长度带动贴装杆(22)位移；

还包括用于检测所述贴装杆(22)与基板之间接触力的应变片(3)，根据所述应变片(3)的检测信号控制所述超磁致伸缩致动器(21)的伸缩量。

2.根据权利要求1所述的力反馈闭环控制复合键合装置，其特征在于，所述微动装置(2)还包括伸缩放大器(23)，所述超磁致伸缩致动器(21)的长度变化经过所述伸缩放大器(23)放大后带动所述贴装杆(22)移动。

3.根据权利要求2所述的力反馈闭环控制复合键合装置，其特征在于，所述微动装置(2)还包括微动基座(24)，所述微动基座(24)滑动安装在所述宏动装置(1)上；所述超磁致伸缩致动器(21)限位安装在所述微动基座(24)上。

4.根据权利要求3所述的力反馈闭环控制复合键合装置，其特征在于，所述超磁致伸缩致动器(21)的伸缩方向与所述贴装杆(22)的运动方向垂直；

所述伸缩放大器(23)包括延长线能够形成菱形的柔性铰链(231)；所述超磁致伸缩致动器(21)和所述贴装杆(22)分别位于菱形的两条对角线上。

5.根据权利要求4所述的力反馈闭环控制复合键合装置，其特征在于，所述伸缩放大器(23)还包括平行设置的驱动块(232)，所述柔性铰链(231)和所述驱动块(232)相交连接形成框架；

框架的侧边包括两个所述柔性铰链(231)，所述柔性铰链(231)的对角线内端连接致动块(233)，对角线外端连接所述驱动块(232)；

位于所述超磁致伸缩致动器(21)其中一侧的所述致动块(233)与所述贴装杆(22)固定，所述贴装杆(22)滑动穿过另一侧的所述致动块(233)。

6.根据权利要求5所述的力反馈闭环控制复合键合装置，其特征在于，所述超磁致伸缩致动器(21)的两侧分别设置两排共四个所述柔性铰链(231)。

7.根据权利要求5所述的力反馈闭环控制复合键合装置，其特征在于，所述应变片(3)的两端分别连接所述贴装杆(22)与所述微动基座(24)。

8.根据权利要求7所述的力反馈闭环控制复合键合装置，其特征在于，所述宏动装置(1)由音圈电机驱动，利用光栅尺实时定位反馈所述微动装置(2)的位置。