[发明专利]一种可高精度控制温域的升华提纯收集装置及纯化设备

权利要求书

1.一种可高精度控制温域的升华提纯收集装置，其特征在于，包括腔体、多个收集台以及加热装置，所述腔体底部设有与收集台数量及尺寸匹配的开口，所述收集台通过所述开口与所述腔体密合连接；所述收集台的底部对应其顶部边缘的位置挖设一环形凹槽，所述凹槽环绕的收集台中心部位和所述腔体分别与所述加热装置连接；所述加热装置包括多个电阻加热模块，所述腔体外部与其中一个所述电阻加热模块对应连接；每个所述收集台外部均对应连接一个位于凹槽环绕的中心部位底部的所述电阻加热模块；所述电阻加热模块用于提供设定的温度；所述收集台的温度设置为低于目标材料的最低升华温度，所述腔体的温度设置为高于目标材料的最低升华温度。

2.根据权利要求1所述的可高精度控制温域的升华提纯收集装置，其特征在于，所述收集台和腔体的材料均为铝、铜、钢或石墨高导热材料的一种。

3.根据权利要求1所述的可高精度控制温域的升华提纯收集装置，其特征在于，所述凹槽底部与收集台表面的距离小于收集台厚度的1/10。

4.根据权利要求1所述的可高精度控制温域的升华提纯收集装置，其特征在于，所述收集台根据收集的目标材料划分为多组，多组收集台的收集温度按照顺次递减形势设置；每组收集台包含至少一个收集台，组内的收集台的收集温度相同。

5.根据权利要求1所述的可高精度控制温域的升华提纯收集装置，其特征在于，所述收集台表面边沿设置一圈高于收集台表面的挡边。

6.一种可高精度控制温域的纯化设备，其特征在于，具有如权利要求1-5任意一项所述的可高精度控制温域的升华提纯收集装置。