[发明专利]保持装置以及光学装置有效
申请号: | 201910341338.6 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN110412835B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 新井学 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李鹏宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保持 装置 以及 光学 | ||
1.一种保持装置,该保持装置保持物体,其特征在于,
上述保持装置具有:
结构体,该结构体包围上述物体;
保持部件,该保持部件保持上述物体;
基座部件,该基座部件设置在上述结构体的内壁;以及
支承部件,该支承部件搭载在上述基座部件上并支承上述保持部件,
在上述基座部件的支承上述支承部件的面形成有第1斜面,该第1斜面相对于上述物体朝水平方向的外侧高度变高,
在上述支承部件的支承上述保持部件的面形成有第2斜面,该第2斜面在上述支承部件搭载于上述第1斜面的状态下相对于上述物体朝水平方向的外侧高度变高,
上述支承部件能够沿着上述第1斜面滑动,上述保持部件能够沿着上述第2斜面滑动,
通过上述支承部件以及上述保持部件的滑动将上述物体的位置偏移维持在容许范围内。
2.如权利要求1所述的保持装置,其特征在于,
随着上述支承部件沿上述第1斜面滑动,上述保持部件因该保持部件和上述物体的自重而沿上述第2斜面滑动,从而将上述物体的高度维持成恒定。
3.如权利要求2所述的保持装置,其特征在于,
上述支承部件通过因热膨胀产生的变形而沿上述第1斜面滑动。
4.如权利要求1所述的保持装置,其特征在于,
上述保持部件包括在多个部位保持上述物体的多个保持部件,
上述基座部件包括经由上述支承部件支承上述多个保持部件的多个基座部件,
上述支承部件是包围上述物体的环状部件。
5.如权利要求1所述的保持装置,其特征在于,
上述保持装置还具有:
第1引导部,该第1引导部设置在上述基座部件的上述第1斜面,且沿该第1斜面的倾斜方向延伸;以及
第1滑动部件,该第1滑动部件设置在上述支承部件的与上述第1斜面相向的面,且被上述第1引导部引导而滑动。
6.如权利要求1所述的保持装置,其特征在于,
上述保持装置还具有:
第2引导部,该第2引导部设置在上述支承部件的上述第2斜面,且沿该第2斜面的倾斜方向延伸;以及
第2滑动部件,该第2滑动部件设置在上述保持部件的与上述第2斜面相向的面,且被上述第2引导部引导而滑动。
7.如权利要求1所述的保持装置,其特征在于,
上述第1斜面和上述第2斜面具有相同的倾斜角度。
8.如权利要求1所述的保持装置,其特征在于,
上述第1斜面和上述第2斜面具有不同的倾斜角度,上述第1斜面与上述第2斜面的角度差基于上述保持部件、上述支承部件以及上述基座部件各自的热膨胀量来设定。
9.一种光学装置,其特征在于,
上述光学装置具有:
光学元件;以及
权利要求1~8中任一项所述的保持装置,
上述保持装置将上述光学元件作为上述物体加以保持。
10.如权利要求9所述的光学装置,其特征在于,
上述光学装置是具有光源和使来自上述光源的光朝规定方向反射的反射器的光源装置,
上述保持装置将上述反射器作为上述光学元件加以保持。
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