[发明专利]宽谱段大数值孔径超高通量的显微物镜光学系统在审
申请号: | 201910343046.6 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN110045492A | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 张新;王超;曲贺盟;管海军;史广维 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;长春长光智欧科技有限公司 |
主分类号: | G02B21/02 | 分类号: | G02B21/02;G02B17/08;G02B21/33;G02B1/00 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透镜组 光线成像 光学系统 大数值孔径 显微物镜 宽谱段 物平面 像平面 光学系统结构 穿过 透镜 成像谱段 负光焦度 光轴方向 一次像面 折叠光路 正光焦度 视场角 折反射 通量 像面 发射 申请 | ||
1.宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述光学系统从物平面到像平面沿其光轴方向依次包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组,共二十片透镜;
所述第一透镜组为折反射透镜组,通过两次折叠光路将物平面发射出的光线成像到一次像面,所述第一透镜组具有正光焦度;
所述第二透镜组、第三透镜组将穿过一次像面的光线成像到二次像面,所述第二透镜组、第三透镜组均具有负光焦度;
所述第四透镜组将穿过二次像面的光线成像到像平面。
2.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述第一透镜组包括三片透镜,从物平面到像平面沿光轴方向依次为凸向像平面的平凸正透镜(1)、弯月负透镜(2)、弯月负透镜(3)。
3.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述第二透镜组包括四片透镜,从物平面到像平面沿光轴方向依次为弯月正透镜(4)、凸向像平面的平凸正透镜(5)、弯月正透镜(6)、弯月正透镜(7)。
4.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述第三透镜组包括五片透镜,从物平面到像平面沿光轴方向依次为双凸正透镜(8)、弯月负透镜(9)、双凸正透镜(10)、凸向物平面的平凸正透镜(11)、弯月负透镜(12)。
5.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述第四透镜组包括八片透镜,从物平面到像平面沿光轴方向依次为弯月正透镜(13)、弯月正透镜(14)、弯月正透镜(15)、双凹负透镜(16)、弯月正透镜(17)、弯月正透镜(18)、弯月正透镜(19)、凸向物平面的平凸正透镜(20)。
6.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,在所述第二透镜组和第三透镜组之间设置光阑(21)。
7.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述光学系统的物平面位置采用浸液方式。
8.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述光学系统的数值孔径小于等于1.0,成像线视场为小于等于2.8mm。
9.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述光学系统的成像谱段为300nm-800nm。
10.如权利要求1所述的宽谱段大数值孔径的显微物镜光学系统,其特征在于,所述光学系统为同一种材料制成,光学系统的材料采用熔石英材料。
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