[发明专利]一种锡镍焊料IMC层金相腐蚀剂及其金相组织显示方法在审

专利信息
申请号: 201910343621.2 申请日: 2019-04-26
公开(公告)号: CN109916905A 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 郑明辉;张健健;郭玲;杨思 申请(专利权)人: 紫光宏茂微电子(上海)有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34
代理公司: 上海市嘉华律师事务所 31285 代理人: 黄琮;傅云
地址: 201700 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 金相腐蚀剂 焊料 金相组织显示 锡镍 质量百分比 烘干 冲洗 形貌 腐蚀 机械抛光 机械研磨 显微设备 显微组织 研磨 抛光 乙醇 盐酸 配制 清晰 展示
【说明书】:

发明实施例公开了一种锡镍焊料IMC层金相腐蚀剂及其金相组织显示方法。其中,金相腐蚀剂由质量百分比为36%~38%的盐酸和质量百分比大于95%的乙醇按照体积比例为1:9配制而成。金相组织显示方法,包括以下步骤:对试样进行机械研磨;对已研磨的试样进行机械抛光;利用该种金相腐蚀剂对已抛光的试样进行金相腐蚀;将已金相腐蚀的试样进行冲洗;对冲洗干净的试样进行烘干;利用显微设备显示已烘干的试样的IMC金相显微组织界面,可以清晰地展示锡镍焊料IMC层的形貌。

技术领域

本发明涉及锡镍焊料IMC层金相腐蚀剂及金相组织显示方法,属于锡镍焊料IMC层金相组织观察试验技术领域。

背景技术

金属材料的内部组织结构与硬度、强度、延展性等材料性能有着直接和密切的联系,金相观察是研究金属材料内部组织结构最为直接有效的方法。金相是指金属或合金的化学成分以及各种成份金属或合金内部的物理状态和化学状态。采用金相显微显示方法可对不同金属或合金层界线和厚度进行金相显微组织观测。

要对锡镍焊料IMC(Intermetallic compound,界面合金共化物)层金相显微组织进行观测首先要采用化学浸蚀法,即采用合适的金相腐蚀剂使分层间界线显示出来,然后用光学或电子显微镜量测IMC层的厚度。

目前,行业通过制备微切片的方法来观察IMC的形貌及厚度,但该种方法得到的IMC金相显微组织界面模糊不清,可参见图1,容易导致对IMC形貌及厚度的误判。

发明内容

本发明的目的在于提供一种锡镍焊料IMC层金相腐蚀剂及其金相组织显示方法,可以清晰地展示锡镍焊料IMC层的形貌。

为了实现以上目的,本发明在一方面提供了一种锡镍焊料IMC层金相腐蚀剂,所述金相腐蚀剂由质量百分比为36%~38%的盐酸和质量百分比大于95%的乙醇按照体积比例为1:9配制而成。

本发明在另一方面提供了一种锡镍焊料IMC层金相组织显示方法,包括以下步骤:

对试样进行机械研磨;

对已研磨的试样进行机械抛光;

利用上述金相腐蚀剂对已抛光的试样进行金相腐蚀;

将已金相腐蚀的试样进行冲洗;

对冲洗干净的试样进行烘干;

利用显微设备显示已烘干的试样的IMC金相显微组织界面。

在一可行的方案中,上述方法在对已抛光的试样进行金相腐蚀的步骤中,具体包括:

将试样浸入所述金相腐蚀剂中腐蚀45s~60s。

在一可行的方案中,上述方法在将已金相腐蚀的试样进行冲洗的步骤中,具体包括:

对试样用流动水冲洗5s~10s。

在一可行的方案中,上述方法在对冲洗干净的试样进行烘干的步骤中,具体包括:

将试样在烘烤温度为50℃的条件下,烘烤3min~5min。

本发明提供的金相腐蚀剂能有效地对锡镍焊料进行腐蚀,并配合清晰地显示IMC层。本发明提供的金相组织显示方法,可清晰地显示出锡镍焊料的IMC层。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为通过现有技术中的制备微切片的方法得到的锡镍焊料合金层的金相组织显示图;

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