[发明专利]微流体单元及其制造方法

权利要求书

1.一种用于制造微流体单元(1)的方法，其中，如此结构化厚度最大为700微米的盘状玻璃元件(3)，使得所述玻璃元件具有至少一个开口(10)，所述开口连接所述玻璃元件的两个相对布置的平行侧面(30、31)，并且其中所述玻璃元件(3)的所述侧面(30、31)中的每一个均将被附接到玻璃部件(5、7)，从而所述开口(10)通过两个玻璃部件(5、7)封闭，并且形成具有空腔(9)的微流体单元(1)，所述空腔被封闭在所述两个玻璃部件(5、7)之间并且适于传送流体，其中通过优选地涂覆到所述玻璃元件(3)的所述侧面(30、31)上的粘合剂(12)产生所述玻璃元件(3)到所述两个玻璃部件(5、7)中的至少一个的附接，其中，在涂覆所述粘合剂(12)期间，所述玻璃元件(3)中的至少一个开口(10)不具有粘合剂。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征还在于，所述玻璃元件(3)被结构化为包含具有长形形状的开口(10)，从而当通过所述玻璃部件(5、7)封闭所述开口(10)时，产生呈载流通道的形式的空腔(9)；

优选地，借助于结构化的涂覆方法、尤其是印刷方法来进行所述粘合剂(12)的涂覆，其中，所述粘合剂被选择性地涂覆在所述侧面(30、31)上，留置出在所述玻璃元件(3)中的所述开口(10)上延伸的区域(13)。

优选地，如此进行所述粘合剂(12)的印刷，使得不具有粘合剂的所述区域(13)大于所述开口，从而所涂覆的粘合剂层(15)的边缘(16)与所述开口(10)的边缘(11)间隔开，并且尤其是后移。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征还在于，如此涂覆所述粘合剂，使得所述开口(10)的边缘(100)保持没有粘合剂。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征还在于，通过以下方式在所述玻璃元件(3)中产生所述开口(10)：

-将超短脉冲激光器(29)的激光束(27)引导到所述玻璃元件(3)的所述侧面(30、31)中的一个上，并且利用聚焦光学器件(23)聚集所述激光束以在所述玻璃元件(3)中形成长形焦点，其中，由于所述激光束(27)的照射能量，因而在所述玻璃元件(1)的体积中产生嵌入的丝状损伤(32)，所述丝状损伤的纵向方向横向于所述侧面(30、31)、特别是垂直于所述侧面(30、31)延伸，并且为了由所述超短脉冲激光器(29)产生嵌入的丝状损伤，而照射一个脉冲或包含至少两个连续的激光脉冲的脉冲包，并且其中在嵌入所述丝状损伤(32)之后，

-将所述玻璃元件(3)暴露于蚀刻介质，所述蚀刻介质以小于8μm每小时的去除速率去除所述玻璃元件(3)的玻璃，以及

-将所述丝状损伤(32)拓宽以形成通道(41)，以及

-在所述通道(41)的壁(54)中嵌入修圆的圆顶形凹陷部(37)。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征还在于，多个嵌入的丝状损伤(32)彼此相邻地形成，并且由于蚀刻，而充分地拓宽所述通道(41)的直径，直至所述通道(41)之间的玻璃被去除并且所述通道(41)被接合在一起。