[发明专利]一种同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器

权利要求书

1.一种同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：包括衬底(1)，衬底(1)上方设置有叉指正电极(8-1)、叉指负电极(8-2)、电感线圈(7)，衬底(1)与叉指正电极(8-1)、叉指负电极(8-2)、电感线圈(7)之间存在一个空腔(10)；所述叉指负电极(8-2)表面覆有一层敏感介质(9)，叉指正电极(8-1)和叉指负电极(8-2)形成叉指结构，叉指正电极(8-1)和叉指负电极(8-2)之间有空气层(11)，构成检测电容；所述电感线圈(7)位于叉指正电极(8-1)和叉指负电极(8-2)的外围，电感线圈(7)的尾部通过引线(6)与叉指负电极(8-2)连接，电感线圈(7)与检测电容构成LC传感器谐振回路单元；所述空腔(10)的四周设置有自下而上的氧化层(2)、底层钝化层(3)、顶层钝化层(4)，氧化层(2)位于衬底(1)上。

2.根据权利要求1所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述引线(6)的一端位于顶层钝化层(4)内，并通过金属层连接锚区(5)固定。

3.根据权利要求1或2所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述引线(6)为多晶硅层或电极金属层。

4.根据权利要求1所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述衬底(1)的材质为硅。

5.根据权利要求1所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述底层钝化层(3)和顶层钝化层(4)的材质均为氮化硅。

6.根据权利要求1所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述敏感介质(9)的材质为氧化石墨烯。

7.根据权利要求6所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述氧化石墨烯由选择性生长的方式得到。

8.根据权利要求1所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述叉指正电极(8-1)、叉指负电极(8-2)及电感线圈(7)的材质为镍。

9.根据权利要求1所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述叉指正电极(8-1)、叉指负电极(8-2)、电感线圈(7)由电镀工艺加工得到。

10.根据权利要求1所述的同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，其特征在于：所述电感线圈(7)为平面螺旋线圈。