[发明专利]金属薄膜打印装置及打印方法有效

专利信息
申请号: 201910344615.9 申请日: 2019-04-26
公开(公告)号: CN111842885B 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 郝征;李志丹 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B22F3/105 分类号: B22F3/105;B33Y30/00;B33Y10/00;B33Y50/02;C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 金属 薄膜 打印 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种金属薄膜打印装置,其特征在于,包括:

粉末提供模块,包括铺粉单元及载粉平台,所述铺粉单元位于所述载粉平台上方并可按一设定方式向所述载粉平台铺设金属粉末;

框架提供模块,具有若干支撑框架,所述框架提供模块使所述支撑框架沿着垂直于所述载粉平台的方向移动,以使所述支撑框架的上表面与所述载粉平台的上表面齐平并对接;

第一激光发生模块,位于所述载粉平台上方,并能够发出激光选择性的熔化所述载粉平台上的金属粉末以形成一图案化的金属薄膜,其中,所述铺粉单元向所述载粉平台铺设金属粉末时,同时向所述支撑框架的上表面铺设金属粉末,以使所述金属薄膜的边缘位于所述支撑框架上;

传输模块,用于将所述支撑框架及所述金属薄膜同时移走。

2.如权利要求1所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述支撑框架在平行于所述载粉平台的方向上的长度大于所述载粉平台的长度,所述支撑框架在平行于所述载粉平台的方向上的宽度大于所述载粉平台的宽度,以使所述支撑框架的镂空部分能够平行穿过所述载粉平台。

3.如权利要求2所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述载粉平台为方形台,所述支撑框架为矩形框架,所述框架提供模块包括升降单元及承载单元,所述承载单元用于承载沿垂直于所述载粉平台的方向设置的若干所述支撑框架,所述升降单元带动所述承载单元沿垂直于所述载粉平台的方向运动,以使在垂直于所述载粉平台的方向上最接近所述载粉平台的支撑框架与所述载粉平台对接。

4.如权利要求3所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述承载单元包括两个对称设置于所述载粉平台两侧的侧板,每个所述侧板靠近所述载粉平台的一侧上沿垂直于所述载粉平台的方向上均设置有多个挡板,两个所述侧板上的多个所述挡板在垂直于所述载粉平台的方向上的高度一一对应,位于同一高度的两个所述挡板用于承载一个所述支撑框架。

5.如权利要求3或4所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述支撑框架相对的两侧上设置有弹出机构,当所述支撑框架与所述载粉平台对接时,所述支撑框架两侧的所述弹出机构弹出以填满所述支撑框架边缘与所述载粉平台边缘之间的缝隙。

6.如权利要求5所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述弹出机构弹出后,所述弹出机构的上表面与所述支撑框架的上表面齐平,以使所述铺粉单元能够同时向所述载粉平台及所述弹出机构上铺设金属粉末,以使形成的所述金属薄膜的边缘位于所述弹出机构上。

7.如权利要求1所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述载粉平台为梯形台,所述载粉平台面积较小的底面靠近所述铺粉单元,所述支撑框架各边框的内侧由内向外倾斜,且各边框的倾斜面与所述载粉平台的各侧面的倾斜度相匹配,以使所述支撑框架与所述载粉平台实现无缝对接。

8.如权利要求7所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述支撑框架各边框的内侧的倾斜角度介于45°-75°之间。

9.如权利要求7所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述框架提供模块包括框架存储单元及抓取单元,所述抓取单元抓取所述框架存储单元中的支撑框架,并将所述支撑框架从所述载粉平台的上表面沿垂直于所述载粉平台的方向放下直至与所述载粉平台对接。

10.如权利要求1所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述铺粉单元包括粉末存储盒及遮挡板,所述粉末存储盒上设置有供金属粉末输出的粉末输出口,所述遮挡板上形成有若干通孔,当启动所述遮挡板时,所述遮挡板移动至遮盖所述粉末输出口,以使金属粉末从所述通孔内输出至所述载粉平台上,并形成一层图案化的金属粉末。

11.如权利要求10所述的金属薄膜打印装置,其特征在于,所述通孔的形状包括圆形、方形、椭圆形或菱形。

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